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Scatterometry sensitivity analysis for conical diffraction versus in-plane diffraction geometry with respect to the side wall angle

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Metadaten
Author:Victor Soltwisch, Sven BurgerORCiD, Frank Scholze
Document Type:Article
Parent Title (English):Proc. SPIE
Volume:8789
First Page:878905
Year of first publication:2013
DOI:https://doi.org/10.1117/12.2020487
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