Recent advances in Bayesian optimization with applications to parameter reconstruction in optical nano-metrology
Verfasserangaben: | Matthias Plock, Sven BurgerORCiD, Philipp-Immanuel Schneider |
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Dokumentart: | Artikel |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Proc. SPIE |
Band: | 11783 |
Erste Seite: | 117830J |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2021 |
ArXiv-Id: | http://arxiv.org/abs/2107.05499 |
DOI: | https://doi.org/10.1117/12.2592266 |