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Recent advances in Bayesian optimization with applications to parameter reconstruction in optical nano-metrology

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Verfasserangaben:Matthias Plock, Sven BurgerORCiD, Philipp-Immanuel Schneider
Dokumentart:Artikel
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Proc. SPIE
Band:11783
Erste Seite:117830J
Jahr der Erstveröffentlichung:2021
ArXiv-Id:http://arxiv.org/abs/2107.05499
DOI:https://doi.org/10.1117/12.2592266
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