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Quantifying parameter uncertainties in optical scatterometry using Bayesian inversion

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Verfasserangaben:Martin Hammerschmidt, Martin WeiserORCiD, Xavier Garcia Santiago, Lin Zschiedrich, Bernd Bodermann, Sven BurgerORCiD
Dokumentart:Artikel
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Proc. SPIE
Band:10330
Erste Seite:1033004
Jahr der Erstveröffentlichung:2017
ArXiv-Id:http://arxiv.org/abs/1707.08467
Preprint:urn:nbn:de:0297-zib-64704
DOI:https://doi.org/10.1117/12.2270596
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