Overview Statistic: PDF-Downloads (blue) and Frontdoor-Views (gray)
  • search hit 82 of 90
Back to Result List

Forward simulation of coherent beams on grating structures for coherent scatterometry

Export metadata

Additional Services

Share in Twitter Search Google Scholar Statistics - number of accesses to the document
Metadaten
Author:Martin Hammerschmidt, Lin Zschiedrich, Lauryna Siaudinyté, Phillip Manley, Philipp-Immanuel Schneider, Sven Burger
Document Type:In Proceedings
Parent Title (English):Proc. SPIE
Volume:PC12619
First Page:PC1261907
Year of first publication:2023
ArXiv Id:http://arxiv.org/abs/2309.06109
DOI:https://doi.org/10.1117/12.2673231
Accept ✔
Diese Webseite verwendet technisch erforderliche Session-Cookies. Durch die weitere Nutzung der Webseite stimmen Sie diesem zu. Unsere Datenschutzerklärung finden Sie hier.