Overview Statistic: PDF-Downloads (blue) and Frontdoor-Views (gray)
  • search hit 9 of 9
Back to Result List

Extracting dimensional parameters of gratings produced with self-aligned multiple patterning using grazing-incidence small-angle x-ray scattering [Source Code]

Export metadata

Additional Services

Share in Twitter Search Google Scholar Statistics - number of accesses to the document
Metadaten
Author:Mika Pflüger, R Joseph Kline, Analía Fernández Herrero, Martin Hammerschmidt, Victor Soltwisch, Michael Krumrey
Document Type:Research data
Resource Type General:Software
Year of first publication:2020
DOI:https://doi.org/10.24433/CO.0953516.v2
Accept ✔
Diese Webseite verwendet technisch erforderliche Session-Cookies. Durch die weitere Nutzung der Webseite stimmen Sie diesem zu. Unsere Datenschutzerklärung finden Sie hier.