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Scatterometry reference standards to improve tool matching and traceability in lithographical nanomanufacturing

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Metadaten
Author:Emil Agcos, Bernd Bodermann, Sven BurgerORCiD, Gaoliang Dai, Johannes Endres, Poul-Erik Hansen, Lars Nielson, Morten Madsen, Sebastian Heidenreich, Michael Krumrey, Bernd Loechel, Jürgen Probst, Frank Scholze, Victor Soltwisch, Matthias Wurm
Document Type:In Proceedings
Parent Title (English):Proc. SPIE
Volume:9556
First Page:955610
Year of first publication:2015
DOI:https://doi.org/10.1117/12.2190409
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