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Analytical modeling and 3D finite element simulation of line edge roughness in scatterometry

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Metadaten
Author:Akiko Kato, Sven BurgerORCiD, Frank Scholze
Document Type:Article
Parent Title (English):Appl. Optics
Volume:51
First Page:6457
Last Page:6464
Year of first publication:2012
ArXiv Id:http://arxiv.org/abs/1208.4220
DOI:https://doi.org/10.1364/AO.51.006457
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