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Numerical investigations of the influence of different commonly applied approximations in scatterometry

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Metadaten
Author:Johannes Endres, Sven BurgerORCiD, Matthias Wurm, Bernd Bodermann
Document Type:Article
Parent Title (English):Proc. SPIE
Volume:8789
First Page:878904
Year of first publication:2013
DOI:https://doi.org/10.1117/12.2022108
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