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Scatterometry reference standards to improve tool matching and traceability in lithographical nanomanufacturing

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Verfasserangaben:Emil Agcos, Bernd Bodermann, Sven BurgerORCiD, Gaoliang Dai, Johannes Endres, Poul-Erik Hansen, Lars Nielson, Morten Madsen, Sebastian Heidenreich, Michael Krumrey, Bernd Loechel, Jürgen Probst, Frank Scholze, Victor Soltwisch, Matthias Wurm
Dokumentart:Konferenzbeitrag
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Proc. SPIE
Band:9556
Erste Seite:955610
Jahr der Erstveröffentlichung:2015
DOI:https://doi.org/10.1117/12.2190409
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