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Spectroscopic Ellipsometry of Plasmonic Gratings─Ideal Parameters for Sensing and Subpicometer Measurement Uncertainty

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Metadaten
Author:Deshabrato Mukherjee, Sven Burger, Thomas Siefke, Jeetendra Gour, Bernd Bodermann, Peter Petrik
Document Type:Article
Parent Title (English):ACS Omega
Volume:10
Issue:14
First Page:14466
Last Page:14473
Year of first publication:2025
DOI:https://doi.org/10.1021/acsomega.5c00951
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