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Reconstructing phase aberrations for high-precision dimensional microscopy

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Author:Philipp-Immanuel Schneider, Phillip Manley, Jan Krüger, Lin Zschiedrich, Rainer Köning, Bernd Bodermann, Sven BurgerORCiD
Document Type:Article
Parent Title (English):Proc. SPIE
Volume:12137
First Page:121370I
Year of first publication:2022
DOI:https://doi.org/10.1117/12.2620762

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