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Source code and simulation results: AAA rational approximation for scatterometry of nanoscale gratings

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Metadaten
Author:Livius Leibl, Viktoriia Sytenko, Rana Demircioglu, Leonid Beliaev, Felix Binkowski
Document Type:Research data
Resource Type General:Dataset
Parent Title (English):Zenodo
Year of first publication:2026
DOI:https://doi.org/10.5281/zenodo.21887001

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