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Photomask linewidth measurement comparison including an improved model-based through-focus measurement approach

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Metadaten
Author:Jan KrügerORCiD, Sven DopslaffORCiD, Phillip Manley, Detlef Bergmann, Rainer KöningORCiD, Gaoliang DaiORCiD, Kai HahmORCiD, Philipp-Immanuel SchneiderORCiD, Martin HammerschmidtORCiD, Lin Zschiedrich, Harald Bosse, Bernd Bodermann
Document Type:Article
Parent Title (English):Meas. Sci. Technol.
Volume:37
First Page:095004
Year of first publication:2026
DOI:https://doi.org/10.1088/1361-6501/ae44bb
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