Eximerlaser mit gauß-förmigem Strahlprofil

  • Wegen ihrer Wellenlänge im ultravioletten Spektralgebiet gehören Eximerlaser (z. B. KrF, ArF, XeCI) zu den am vielseitigsten eingesetzten Lasern in der Forschung und zunehmend auch in der industriellen Anwendung. Alle am Markt erhältlichen Excimer-Laser weisen jedoch einen wesentlichen Nachteil auf, der ihre Einsatzmöglichkeiten begrenzt. Bedingt durch konstruktive Besonderheiten ist ihre Strahlqualität unbefriedigend. Sie weisen einen rechteckförmigen Strahlquerschnitt auf mit einem komplizierten Gemisch verschiedener transversaler Moden (Multimodenstruktur). Diese Eigenschaft wirkt sich negativ auf die Fokussierbarkeit der Strahlung aus, wodurch der positive Einfluß der kurzen Wellenlängen z.T. wieder zunichte gemacht wird. Besonders störend ist dieser Effekt z. B. beim Bohren feinster Löcher oder beim Einkoppeln der Strahlung in Lichtleiter. Das Ziel der Arbeiten besteht daher darin, einen Eximerlaser zu entwickeln, der die Vorteile der kurzen Wellenlänge mit einer guten Strahlqualität verbindet. Anzustreben ist ein kreisrunder Strahlquerschnitt mit nur einer Strahlungsmode und Gauß-Profil. Dabei sollen die Erfahrungen genutzt werden, die im Institut für Plasma- und Lasertechnik der TFH Wildau bei der Entwicklung von Stickstofflasern mit gauß-ähnlichem Strahlprofil gewonnen wurden. Ein solches Gerät würde die Einsatzgebiete von Eximer-Lasern erweitern und hätte voraussichtlich gute Marktchancen.

Download full text files

Export metadata

Additional Services

Search Google Scholar Statistics
Metadaten
Author:Harald Gündel, Hans Volkmann
URN:urn:nbn:de:kobv:526-opus4-8245
DOI:https://doi.org/10.15771/0949-8214_1996_14
ISSN:0949-8214
Parent Title (German):Wissenschaftliche Beiträge 1/1996
Document Type:Article in a Periodical of the TH Wildau
Language:German
Year of Publication:1996
Publishing Institution:Technische Hochschule Wildau
Release Date:2017/02/17
Volume:2
Issue:1
First Page:68
Last Page:71
Faculties an central facilities:Fachbereich Ingenieurwesen / Wirtschaftsingenieurwesen (bis 8/2014)
Dewey Decimal Classification:6 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / 62 Ingenieurwissenschaften / 621 Angewandte Physik
TH Wildau publications:Wissenschaftliche Beiträge
Licence (German):Das Dokument ist urheberrechtlich geschützt
Verstanden ✔
Diese Webseite verwendet technisch erforderliche Session-Cookies. Durch die weitere Nutzung der Webseite stimmen Sie diesem zu. Unsere Datenschutzerklärung finden Sie hier.