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Großflächige Abscheidung von Graphen - Ein wichtiger Schritt für neuartige Bauelemente

  • Das wachsende Interesse an Graphen beruht auf seiner unverwechselbaren Bandstruktur und seinen damit zusammenhängenden herausragenden physikalischen Eigenschaften. Es wird daher weltweit nach einem Verfahren gesucht, Graphen großflächig und mit hoher Qualität abzuscheiden. In einer an der TH Wildau [FH] speziell für diese Aufgabe konzipierten Reaktionskammer wurde die Herstellung mittels chemischer Gasphasenabscheidung auf katalytischen Metalloberflächen für verschiedene Parameter studiert und deren Verträglichkeit mit der CMOS -Technologie untersucht. Die ersten Tests erfolgten auf Nickel, da hier eine im Volumen stattfindende katalytische Reaktion einsetzt. In weiteren Schritten fiel die Wahl auf Kupfer, da hier die Reaktion an der Oberfläche stattfindet und daher ein stabilerer Prozess realisiert werden konnte. Die Qualitätsprüfung der erzeugten Schichten erfolgte mittels Ramanspektrometrie.

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Metadaten
Author:Harald Beyer, Mandy Hofmann, Sebastian Trutz, Helge Lux, Sven Stissel, Wolfgang Mehr, Sigurd SchraderORCiD, Peter Siemroth
URN:urn:nbn:de:kobv:526-opus4-3169
DOI:https://doi.org/10.15771/0949-8214_2013_1_27
ISSN:0949-8214
Parent Title (German):Wissenschaftliche Beiträge 2013
Document Type:Article in a Periodical of the TH Wildau
Language:German
Year of Publication:2013
Date of first Publication:2013/10/16
Publishing Institution:Technische Hochschule Wildau
Release Date:2014/10/16
Volume:17
First Page:154
Last Page:159
Faculties an central facilities:Fachbereich Ingenieurwesen / Wirtschaftsingenieurwesen (bis 8/2014)
Dewey Decimal Classification:6 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / 62 Ingenieurwissenschaften / 620 Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten
TH Wildau publications:Wissenschaftliche Beiträge
Licence (German):Creative Commons - CC BY-NC-ND 3.0 DE - Namensnennung - Nicht-kommerziell - Keine Bearbeitung 3.0 Deutschland
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