TY - GEN A1 - Beyer, Harald A1 - Hofmann, Mandy A1 - Trutz, Sebastian A1 - Lux, Helge A1 - Stissel, Sven A1 - Mehr, Wolfgang A1 - Schrader, Sigurd A1 - Siemroth, Peter T1 - Großflächige Abscheidung von Graphen - Ein wichtiger Schritt für neuartige Bauelemente T2 - Wissenschaftliche Beiträge 2013 N2 - Das wachsende Interesse an Graphen beruht auf seiner unverwechselbaren Bandstruktur und seinen damit zusammenhängenden herausragenden physikalischen Eigenschaften. Es wird daher weltweit nach einem Verfahren gesucht, Graphen großflächig und mit hoher Qualität abzuscheiden. In einer an der TH Wildau [FH] speziell für diese Aufgabe konzipierten Reaktionskammer wurde die Herstellung mittels chemischer Gasphasenabscheidung auf katalytischen Metalloberflächen für verschiedene Parameter studiert und deren Verträglichkeit mit der CMOS -Technologie untersucht. Die ersten Tests erfolgten auf Nickel, da hier eine im Volumen stattfindende katalytische Reaktion einsetzt. In weiteren Schritten fiel die Wahl auf Kupfer, da hier die Reaktion an der Oberfläche stattfindet und daher ein stabilerer Prozess realisiert werden konnte. Die Qualitätsprüfung der erzeugten Schichten erfolgte mittels Ramanspektrometrie. Y1 - 2013 U6 - http://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn:nbn:de:kobv:526-opus4-3169 SN - 0949-8214 VL - 17 SP - 154 EP - 159 ER -