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    <title language="deu">Eximerlaser mit gauß-förmigem Strahlprofil</title>
    <abstract language="deu">Wegen ihrer Wellenlänge im ultravioletten Spektralgebiet gehören Eximerlaser (z. B. KrF, ArF, XeCI) zu den am vielseitigsten eingesetzten Lasern in der Forschung und zunehmend auch in der industriellen Anwendung. Alle am Markt erhältlichen Excimer-Laser weisen jedoch einen wesentlichen Nachteil auf, der ihre Einsatzmöglichkeiten begrenzt.&#13;
Bedingt durch konstruktive Besonderheiten ist ihre Strahlqualität unbefriedigend. Sie weisen einen rechteckförmigen Strahlquerschnitt auf mit einem komplizierten Gemisch verschiedener transversaler Moden (Multimodenstruktur). Diese Eigenschaft wirkt sich negativ auf die Fokussierbarkeit der Strahlung aus, wodurch der positive Einfluß der kurzen Wellenlängen z.T. wieder zunichte gemacht wird. Besonders störend ist dieser Effekt z. B. beim Bohren feinster Löcher oder beim Einkoppeln der Strahlung in Lichtleiter.&#13;
Das Ziel der Arbeiten besteht daher darin, einen Eximerlaser zu entwickeln, der die Vorteile der kurzen Wellenlänge mit einer guten Strahlqualität verbindet. Anzustreben ist ein kreisrunder Strahlquerschnitt mit nur einer Strahlungsmode und Gauß-Profil. Dabei sollen die Erfahrungen genutzt werden, die im Institut für Plasma- und Lasertechnik der TFH Wildau bei der Entwicklung von Stickstofflasern mit gauß-ähnlichem Strahlprofil gewonnen wurden. Ein solches Gerät würde die Einsatzgebiete von Eximer-Lasern erweitern und hätte voraussichtlich gute Marktchancen.</abstract>
    <parentTitle language="deu">Wissenschaftliche Beiträge 1/1996</parentTitle>
    <identifier type="issn">0949-8214</identifier>
    <identifier type="doi">10.15771/0949-8214_1996_14</identifier>
    <identifier type="urn">urn:nbn:de:kobv:526-opus4-8245</identifier>
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    <author>Harald Gündel</author>
    <author>Hans Volkmann</author>
    <collection role="ddc" number="621">Angewandte Physik</collection>
    <collection role="institutes" number="">Fachbereich Ingenieurwesen / Wirtschaftsingenieurwesen (bis 8/2014)</collection>
    <collection role="Publikationen_der_TH_Wildau" number="">Wissenschaftliche Beiträge</collection>
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    <thesisPublisher>Technische Hochschule Wildau</thesisPublisher>
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