@misc{BeyerHofmannTrutzetal.2013, author = {Beyer, Harald and Hofmann, Mandy and Trutz, Sebastian and Lux, Helge and Stissel, Sven and Mehr, Wolfgang and Schrader, Sigurd and Siemroth, Peter}, title = {Großfl{\"a}chige Abscheidung von Graphen - Ein wichtiger Schritt f{\"u}r neuartige Bauelemente}, series = {Wissenschaftliche Beitr{\"a}ge 2013}, volume = {17}, journal = {Wissenschaftliche Beitr{\"a}ge 2013}, issn = {0949-8214}, doi = {10.15771/0949-8214_2013_1_27}, url = {http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:kobv:526-opus4-3169}, pages = {154 -- 159}, year = {2013}, abstract = {Das wachsende Interesse an Graphen beruht auf seiner unverwechselbaren Bandstruktur und seinen damit zusammenh{\"a}ngenden herausragenden physikalischen Eigenschaften. Es wird daher weltweit nach einem Verfahren gesucht, Graphen großfl{\"a}chig und mit hoher Qualit{\"a}t abzuscheiden. In einer an der TH Wildau [FH] speziell f{\"u}r diese Aufgabe konzipierten Reaktionskammer wurde die Herstellung mittels chemischer Gasphasenabscheidung auf katalytischen Metalloberfl{\"a}chen f{\"u}r verschiedene Parameter studiert und deren Vertr{\"a}glichkeit mit der CMOS -Technologie untersucht. Die ersten Tests erfolgten auf Nickel, da hier eine im Volumen stattfindende katalytische Reaktion einsetzt. In weiteren Schritten fiel die Wahl auf Kupfer, da hier die Reaktion an der Oberfl{\"a}che stattfindet und daher ein stabilerer Prozess realisiert werden konnte. Die Qualit{\"a}tspr{\"u}fung der erzeugten Schichten erfolgte mittels Ramanspektrometrie.}, language = {de} }