@misc{JannaschSiemroth2002, author = {Jannasch, Karin and Siemroth, Peter}, title = {Konstruktive Entwicklung einer industriell einsetzbaren Filter- HCA-Quelle f{\"u}r superharte Nanometer-Kohlenstoffschichten}, series = {Wissenschaftliche Beitr{\"a}ge 2002}, volume = {7}, journal = {Wissenschaftliche Beitr{\"a}ge 2002}, issn = {0949-8214}, doi = {10.15771/0949-8214_2002_6}, url = {http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:kobv:526-opus4-6871}, pages = {35 -- 42}, year = {2002}, abstract = {Im Fraunhofer Institut f{\"u}r Werkstoff- und Strahltechnik Dresden wurde eine neuartige Plasmaquelle f{\"u}r die Abscheidung ultrad{\"u}nner und superharter Schutzschichten aus Kohlenstoff entwickelt, die ausgehend von einem aktuellen Anwendungsfall der Mikrosystemtechnik f{\"u}r die Zukunft ein breites potenzielles Einsatzfeld f{\"u}r Verschleißschutz- und reibmindernde Schichten besitzt. F{\"u}r eine schnelle Umsetzung in die Industrie bieten sich vor allem kleine, innovative Unternehmen aus dem Umfeld als Partner an. Die {\"U}berf{\"u}hrung in professionelle Industrieanlagen erfordert allerdings eine umfassende ingenieurtechnische {\"U}berarbeitung, die h{\"a}ufig die M{\"o}glichkeiten junger Unternehmen {\"u}bersteigt. So sind bei der Optimierung des Gesamtkonzeptes bzw. einzelner Baugruppen verschiedenste Faktoren wie die Eignung f{\"u}r den Dauerbetrieb, der Wartungsaufwand und die Produktionskosten zu ber{\"u}cksichtigen. An dieser kritischen Schnittstelle hat die Technische Fachhochschule Wildau (TFH Wildau) eine wichtige Rolle {\"u}bernommen und arbeitet in Form von Diplomthemen und Forschungspraktika f{\"u}r Hochschullehrer eng mit dem Fraunhofer Institut f{\"u}r Werkstoff- und Strahltechnik Dresden (IWS Dresden) zusammen.}, language = {de} }