@misc{GuendelVolkmann1996, author = {G{\"u}ndel, Harald and Volkmann, Hans}, title = {Eximerlaser mit gauß-f{\"o}rmigem Strahlprofil}, series = {Wissenschaftliche Beitr{\"a}ge 1/1996}, volume = {2}, journal = {Wissenschaftliche Beitr{\"a}ge 1/1996}, number = {1}, issn = {0949-8214}, doi = {10.15771/0949-8214_1996_14}, url = {http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:kobv:526-opus4-8245}, pages = {68 -- 71}, year = {1996}, abstract = {Wegen ihrer Wellenl{\"a}nge im ultravioletten Spektralgebiet geh{\"o}ren Eximerlaser (z. B. KrF, ArF, XeCI) zu den am vielseitigsten eingesetzten Lasern in der Forschung und zunehmend auch in der industriellen Anwendung. Alle am Markt erh{\"a}ltlichen Excimer-Laser weisen jedoch einen wesentlichen Nachteil auf, der ihre Einsatzm{\"o}glichkeiten begrenzt. Bedingt durch konstruktive Besonderheiten ist ihre Strahlqualit{\"a}t unbefriedigend. Sie weisen einen rechteckf{\"o}rmigen Strahlquerschnitt auf mit einem komplizierten Gemisch verschiedener transversaler Moden (Multimodenstruktur). Diese Eigenschaft wirkt sich negativ auf die Fokussierbarkeit der Strahlung aus, wodurch der positive Einfluß der kurzen Wellenl{\"a}ngen z.T. wieder zunichte gemacht wird. Besonders st{\"o}rend ist dieser Effekt z. B. beim Bohren feinster L{\"o}cher oder beim Einkoppeln der Strahlung in Lichtleiter. Das Ziel der Arbeiten besteht daher darin, einen Eximerlaser zu entwickeln, der die Vorteile der kurzen Wellenl{\"a}nge mit einer guten Strahlqualit{\"a}t verbindet. Anzustreben ist ein kreisrunder Strahlquerschnitt mit nur einer Strahlungsmode und Gauß-Profil. Dabei sollen die Erfahrungen genutzt werden, die im Institut f{\"u}r Plasma- und Lasertechnik der TFH Wildau bei der Entwicklung von Stickstofflasern mit gauß-{\"a}hnlichem Strahlprofil gewonnen wurden. Ein solches Ger{\"a}t w{\"u}rde die Einsatzgebiete von Eximer-Lasern erweitern und h{\"a}tte voraussichtlich gute Marktchancen.}, language = {de} }