@article{JannaschSiemroth2002, author = {Karin Jannasch and Peter Siemroth}, title = {Konstruktive Entwicklung einer industriell einsetzbaren Filter- HCA-Quelle f{\"u}r superharte Nanometer-Kohlenstoffschichten}, journal = {Wissenschaftliche Beitr{\"a}ge 2002}, volume = {7}, pages = {35 -- 42}, year = {2002}, }