Hochdynamische Miniaturantriebe mit hoher Positionsgenauigkeit
- In der vorliegenden Arbeit werden die Grenzen eines Miniaturantriebs bezüglich hoher Dynamik bei gleichzeitig hoher Positionsgenauigkeit untersucht. Dabei wird das Gesamtsystem betrachtet und optimiert. Es wird ein vollständig zeitdiskretes Modell erarbeitet und die maximal mögliche Bandbreite bestimmt. Außerdem werden Einflussfaktoren wie Positionsauswertung, Digitalisierung der Rückführgrößen und digitale Pulsweitenmodulation untersucht. Es wird ein Miniaturantrieb aufgebaut, mit dem die hohe Dynamik und eine Positionsstabilität im Subnanometer Bereich nachgewiesen werden kann.
- In this work, the limitations of a miniature drive concerning high dynamics with coincident high position accuracy are examined. Therefore, the entire system is considered and optimized. A complete discrete time model is developed and the maximum possible bandwidth is determined. Influencing parameters such as position evaluation, digitization of the feedback variables and digital pulse width modulation are examined. A miniature drive is developed in order to realize and verify high dynamics and position stability in sub nanometer range.
