Thermal Simulation and characterization of GaAs micromachined power sensor microsystems

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Metadaten
Author:E. Burian, D. Pogany, T. Lalinsky, Norbert SeligerORCID, E. Gornik
Parent Title (English):Eurosensors XI
Document Type:Conference Publication
Language:English
Publication Year:1997
Release Date:2023/06/09
Page Number:4
First Page:949
Last Page:952
faculties / departments:Fakultät für Ingenieurwissenschaften
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