Internal Characterisation of IGBTs Using the Backside Laserprober Technique
Author: | C. Fürböck, R. Thalhammer, M. Litzenberger, Norbert SeligerORCiD, D. Pogany, E. Gornik, G. Wachutka |
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ISBN: | 3-901678-04-8 |
Parent Title (English): | Jahrestagung der GMe, Bad Hofgastein Tagungsband 1999 |
Publisher: | Gesellschaft für Mikroelektronik (GMe) |
Document Type: | Conference Proceeding |
Language: | English |
Publication Year: | 1999 |
Tag: | IGBT |
Peer reviewed: | Nein |
faculties / departments: | Fakultät für Ingenieurwissenschaften |
Dewey Decimal Classification: | 6 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / 60 Technik / 600 Technik, Technologie |