TY - CHAP A1 - Fürböck, C. A1 - Thalhammer, R. A1 - Litzenberger, M. A1 - Seliger, Norbert A1 - Pogany, D. A1 - Gornik, E. A1 - Wachutka, G. T1 - Internal Characterisation of IGBTs Using the Backside Laserprober Technique T2 - Jahrestagung der GMe, Bad Hofgastein Tagungsband 1999 KW - IGBT Y1 - 1999 SN - 3-901678-04-8 PB - Gesellschaft für Mikroelektronik (GMe) ER -