Innovatives Verfahren zur Herstellung und Integration metallischer Nanokonen für die Feldemission
- In den letzten Jahren wurde am Institut für Elektromechanische Konstruktionen die Fabrikation und Integration von metallischen Nanodrähten und Nanokonen mittels Template-basierter Abscheidung erforscht. Diese Variante der in-situ Abscheidung von metallischen Nanostrukturen bietet eine Vielzahl von Anwendungsmöglichkeiten. Im Rahmen dieses Beitrags werden das Herstellungsverfahren zur Herstellung metallischer Nanokonen vorgestellt. Dies beinhaltet sowohl die Templatepräparation mittels asymmetrischen Ätzens als auch die anschließende Integration mittels galvanischer Abscheidung. Eine Anwendung der metallischen Nanokonen stellt die Verwendung als Feldemitter in der Vakuumelektronik dar. Es werden erste Messungen der Langzeitstabilität des Feldemissionsstromes der metallischen Konen präsentiert.
- Recently the fabrication and integration of metallic nanowires and nanocones based on ion-track etched templates has been in the focus of research at the Institute for Electromechanical Design at the TU Darmstadt. Using the method for the in-situ deposition various applications are feasible. In this paper we present the fabrication method for in-situ deposition of metallic nanocones, including the preparation of the polymer templates based on asymmetric etching and the process description for integration via electrodeposition. Giving one example for an application, the metallic nanocones can be used as field emitters in vacuum electronics. The field emission properties will be presented briefly.
Author: | Johannes Bieker, Farough Roustaie, Christoph LangerORCiD, Rupert SchreinerORCiDGND, Helmut F. Schlaak |
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ISBN: | 978-3-8007-4491-6 |
Parent Title (German): | MikroSystemTechnik Kongress 2017 : MEMS, Mikroelektronik, Systeme 23.-25. Oktober 2017 in München |
Title Additional (German): | Innovative fabrication method for in-situ deposition of metallic nanocones for field emission |
Publisher: | VDE-Verlag |
Place of publication: | München |
Document Type: | conference proceeding (article) |
Language: | German |
Year of first Publication: | 2017 |
Release Date: | 2022/07/10 |
Tag: | Feldemission; Herstellverfahren; Langzeitstabilität; Nanodraht; Nanostruktur; Polymer; Prozessbeschreibung; Vakuum; galvanische Abscheidung; Ätzen |
Issue: | CD-ROM |
First Page: | 797 |
Last Page: | 800 |
Institutes: | Fakultät Angewandte Natur- und Kulturwissenschaften |
Fakultät Angewandte Natur- und Kulturwissenschaften / Labor Mikrosensorik | |
research focus: | Sensorik |
Licence (German): | Keine Lizenz - Es gilt das deutsche Urheberrecht: § 53 UrhG |