TY - CHAP A1 - Bierl, Rudolf A1 - Boehm, M. A1 - Fraunhoffer, Judith A1 - Gardeia, Armin A1 - Mottok, Jürgen A1 - Schneider, Ralph A1 - Streubel, J. T1 - “Regensburger Modell zu den P-Seminaren” – Ein Konzept zur Gestaltung der Schnittstelle Gymnasium – Hochschule und zur Praxis einer kooperativen Lehr-Lern-Didaktik für Informationstechnik T2 - 3rd Embedded Software Engineering Congress, 7. bis 9. Dezember, Sindelfingen Y1 - 2010 PB - Vogel Business Media CY - Würzburg ER - TY - CHAP A1 - Roth, Carina A1 - Hausler, Peter A1 - Bierl, Rudolf T1 - Einbindung eines 2D-Photodetektors in einen hochintegrierten SPR-Imaging-Sensor T2 - 118. Jahrestagung der deutschen Gesellschaft für angewandte Optik (DGaO), 6.-10. Juni 2017, Dresden N2 - Mit der Oberflächenplasmonenresonanzspektroskopie (SPR) können Brechungsindexänderungen eines Analyten von bis zu 10-6 RIU detektiert werden. Das SPR-Imaging bietet heute gegenüber der konventionellen SPR-Analyse die Möglichkeit, mehrere einzelne Messungen parallel durchführen zu können. Mit Hilfe eines zweidimensionalen Sensorchips und einer leistungsfähigen Boardlevelkamera können die Abbildungen des Chips direkt an einen Rechner übertragen und dort verarbeitet werden. Aufgrund unterschiedlicher Winkelstellungen und der Geometrie des Aufbaus entstehen Stauchungen und Streckungen des abgebildeten Sensorchips, die mit verschiedenen Ansätzen aus der Bildverarbeitung ausgeglichen werden, um die Bilder miteinander vergleichen zu können. Zudem wird die Güte der Referenz- und Messbereiche des Chips bestimmt. Diese Algorithmen sind nur möglich aufgrund der heutigen, leistungsfähigen Rechner und der immer größer werdenden Durchsatzraten der Kameras. Dabei kommt in dieser Anwendung der relativ neue Kamerastandard USB3 Vision zum Einsatz. Dieser zeichnet sich zusätzlich durch das Plug and Play und seinen Standardstecker, der an (fast) jedem Rechner vorhanden ist, aus. KW - Bildverarbeitung KW - Messtechnik KW - Optische Informationsverarbeitung Y1 - 2017 ER - TY - CHAP A1 - Rück, Thomas A1 - Läpple, I. A1 - Bierl, Rudolf T1 - Photoakustische Spurengasanalytik von NO2 im ppt-Bereich (10^-12) bei Verwendung kostengünstiger Einzelkomponenten T2 - 7. MikroSystemTechnik Kongress "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", 23.-25. Oktober 2017, München KW - Elektroniksystem KW - Industrie 4.0 KW - Mikrosystemtechnik KW - Mikrofluidik KW - Mikroaktorik Y1 - 2017 SN - 978-3-8007-4491-6 PB - VDE-Verlag CY - Berlin ER - TY - JOUR A1 - Zagler, Andreas A1 - Landgraf, Ferdinand A1 - Rück, Thomas A1 - Bierl, Rudolf T1 - Entwicklung eines mikromechanischen kapazitiven Schalldetektors im resonanten Betrieb für die photoakustische Spurengasanalyse JF - 7. MikroSystemTechnik Kongress "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", 23.-25. Oktober 2017, München Y1 - 2017 PB - VDE-Verlag CY - Berlin ER - TY - CHAP A1 - Gaida, Peter A1 - Weigl, Stefan A1 - Rück, Thomas A1 - Bierl, Rudolf T1 - Portable photoakustische Messeinheit zur NO2 Detektion im Spurenbereich T2 - 7. MikroSystemTechnik Kongress "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", 23.-25. Oktober 2017, München Y1 - 2017 SN - 978-3-8007-4491-6 PB - VDE-Verlag CY - Berlin ER - TY - CHAP A1 - Fischer, Johannes T1 - Miniaturisierter plasmonischer Sensor für das Monitoring von Weichmachern in Gewässerproben T2 - 7. MikroSystemTechnik Kongress "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", 23.-25. Oktober 2017, München Y1 - 2017 SN - 978-3-8007-4491-6 PB - VDE-Verlag CY - Berlin ER - TY - RPRT A1 - Unger, J. A1 - Rück, Thomas A1 - Landgraf, Ferdinand A1 - Bierl, Rudolf T1 - Herstellung und Analyse der Resonanzfrequenz eines MEMS Cantilever für das CEPAS Verfahren N2 - Diese Abhandlung beschreibt das Konzept eines mikroeletromechanischen Systems (MEMS), das im Messverfahren der cantilever enhanced photoacoustic spectroscopy (CEPAS) Verwendung finden soll. Es wird die Herstellung eines einseitig eingespannten Biegebalkens aus Silizium mittels deep reactiv ion etching (DRIE) beschrieben. Des Weiteren wird die Resonanzfrequenz dieses Cantilevers mit Hilfe Laservibrometertechnik untersucht. Die resultierenden resonanten Schwingungen 0.Ordnung werden mit den Ergebnissen einer vereinfachten theoretischen Näherung verglichen. Die Messergebnisse stehen in gutem Zusammenhang mit den theoretischen Werten. Solche Cantilever, die aus silicon on insula tor (SOI) Wafer angefertigt wurden, weisen bei einer Zielfrequenz ein mittlere Abweichung von Δf = 118±26Hz (bzw.Δf =0,76±0,17%) auf. Y1 - 2015 ER - TY - CHAP A1 - Holler, Sven A1 - Hausler, Peter A1 - Roth, Carina A1 - Bierl, Rudolf T1 - Gestapelte Au-Al-Au und Au-Ag-Au Schichten als aktive Schichten für die Oberflächenplasmonenresonanzspektroskopie T2 - 5. Landshuter Symposium Mikrosystemtechnik, März 2016 Y1 - 2016 SN - 978-3-9812696-9-7 SP - 192 EP - 198 PB - Fachhochschule Landshut CY - Landshut ER - TY - CHAP A1 - Roth, Carina A1 - Hausler, Peter A1 - Bierl, Rudolf T1 - Einbindung eines CMOS-Detektors in einen hochintegrierten SPR-Sensor T2 - 5. Landshuter Symposium Mikrosystemtechnik, März 2016 Y1 - 2016 SN - 78-3-9812696-9-7 SP - 200 EP - 205 PB - Fachhochschule Landshut CY - Landshut ER - TY - CHAP A1 - Escher, Lukas A1 - Müller, Max A1 - Rück, Thomas A1 - Jobst, Simon A1 - Bierl, Rudolf T1 - Digitaler Zwilling photoakustischer Spurengassensoren zur Prozessüberwachung T2 - 16. Dresdner Sensor-Symposium 2022: Vorträge N2 - Stickstoffdioxid (NO2) wird hauptsächlich durch anthropogene Verbrennungsprozesse in Verkehr und Industrie in die Umgebungsluft eingebracht [1]. Die stark reaktive, oxidative Wirkung von NO2 kann bei Exposition mit höheren Konzentrationen Reizungen und allergische Reaktionen in den Atemwegen hervorrufen. Weiter führt NO2 zur Bildung von saurem Regen, Smog und Ozon (O3) die sich ebenso negativ auf die menschliche Gesundheit und Umwelt auswirken [2,3]. Aufgrund dieser Effekte wird die Spurengaskonzentration von NO2 in der Luft in Deutschland an ausgewählten, verkehrsreichen Orten gemessen. Y1 - 2022 SN - 978-3-9819376-7-1 U6 - https://doi.org/10.5162/16dss2022/3.3 PB - AMA (Association for Sensors + Measurement) ER - TY - CHAP A1 - Hausler, Peter A1 - Roth, Carina A1 - Aumer, F. A1 - Vitzthumecker, Thomas A1 - Genslein, Christa A1 - Hirsch, Thomas A1 - Bierl, Rudolf T1 - Miniaturisiertes Sensorsystem zur Oberflächenplasmonenresonanzspektroskopie T2 - 118. Jahrestagung der deutschen Gesellschaft für angewandte Optik (DGaO), 6.-10. Juni 2017, Dresden N2 - Die Oberflächenplasmonenresonanzspektroskopie (SPR) wird aufgrund ihrer Vorzüge der zerstörungs- und markierungsfreien Messung, sowie der hohen Sensitivität sehr erfolgreich im Labormaßstab eingesetzt. Aufgrund der hohen Kosten geschieht dies bislang hauptsächlich in der Bioanalytik und dem Wirkstoffscreening. Gezeigt wird ein Ansatz, mit dem diese Technologie auf ein ultrakompaktes, kostengünstiges Sensorsystem übertragen wird, welches in der Lage ist, hoch-sensitiv Änderungen im Brechungsindex von 10-6 Einheiten (RIU) zu detektieren. Für Wasser bewirkt eine Temperaturschwankung von 1 K bereits eine Änderung von 1 mRIU. Daher wird durch ein integriertes Referenzsystem, sowie die Miniaturisierung erreicht, dass das System gegenüber Temperaturschwankungen, weitestgehend stabil ist. In dem MOEMS wird anstatt der konventionellen 1-Punkt bzw. 2-Punkt Messung ein bildgebendes Verfahren angewendet. Die Sensorfläche von 15 x 15 mm wird dabei mit einem handelsüblichen 4 Mio. Pixel CMOS Sensor ausgewertet. Um verlässliche Datenpunkte zu erhalten benötigt man eine Fläche von 10 x 10 Pixel. Demzufolge können auf dem Sensor theoretisch bis zu 40.000 Sensorspots parallel ausgewertet werden. KW - Messtechnik KW - Optische Systeme KW - Spektroskopie Y1 - 2017 ER - TY - CHAP A1 - Hausler, Peter A1 - Genslein, Christa A1 - Roth, Carina A1 - Hirsch, Thomas A1 - Bierl, Rudolf T1 - Mikro-Opto-Elektro-Mechanisches Sensorsystem zur Oberflächenplasmonenresonanzspektroskopie T2 - MikroSystemTechnik Kongress 2017 : MEMS, Mikroelektronik, Systeme 23.-25. Oktober 2017 in München N2 - Gezeigt wird die Miniaturisierung eines Messsystems für Oberflächenplasmonenresonanzspektroskopie (SPR), einer markierungs-, sowie zerstörungsfreien als auch hoch sensitiven Technologie. Aufgrund der hohen Kosten klassischer SPR-Geräte wird sie bisher jedoch vornehmlich in der Bio- und Medizintechnik eingesetzt. Das Messprinzip ermöglicht die Erfassung von Brechungsindexänderungen nahe einer Oberfläche. Der Transfer dieser Technologie von Laborgeräten hin zu einem miniaturisierten Sensorsystem senkt die Kosten, macht das System robuster und ermöglicht so ein wesentlich breiteres Anwendungsspektrum. Ein sehr vielversprechendes Merkmal des hier vorgestellten Systems ist die Möglichkeit den SPR-Effekt winkelabhängig zur Lichtquelle ohne bewegliche Bauteile zu verfolgen. The miniaturization of Surface Plasmon Resonance (SPR) technology, which mainly finds its applications in pharmaceutical screening and biotechnology so far, is described. SPR spectroscopy is a label-free, non destructive and highly sensitive measurement principle which is capable of detecting changes in the refractive index in striking distance to a gold surface. A transfer of this technology to a miniaturized sensor will broaden the range of possible applications. A promising feature which is included in the miniaturized system is the angle-dependent recording of the SPR signals without moving parts. KW - Bewegungselement KW - Biotechnik KW - Brechungsindex KW - Goldoberfläche KW - Laborgerät KW - Lichtquelle KW - Medizintechnik KW - Messprinzip KW - Messsystem KW - Miniaturisierung KW - Oberflächenplasmon KW - Oberflächenplasmonenresonanzspektroskopie KW - pharmazeutisches Screening KW - Sensorsystem KW - Spektroskopie Y1 - 2017 SN - 978-3-8007-4491-6 IS - CD-ROM SP - 645 EP - 647 PB - VDE-Verlag CY - Berlin ER - TY - CHAP A1 - Hausler, Peter A1 - Holler, Sven A1 - Hirsch, Thomas A1 - Bierl, Rudolf T1 - Miniaturisierte Oberflächenplasmonenresonanz Sensorplattform T2 - MEMS, Mikroelektronik, Systeme, MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.- 28. Oktober 2015, Karlsruhe, proceedings Y1 - 2015 SN - 978-3-8007-4100-7 PB - VDE Verlag CY - Berlin ER -