TY - JOUR A1 - Szabó, Peter A1 - Steffens, Oliver A1 - Lenz, Michael A1 - Farkas, Gábor T1 - Transient junction-to-case thermal resistance measurement methodology of high accuracy and high repeatability JF - IEEE Transactions on Components and Packaging Technologies N2 - High-power packages show a characteristic three-dimensional heat flow resulting in large lateral changes in chip and case surface temperature. This paper proposes an unambiguous definition for the R/sub thJC/ junction-to-case thermal resistance as a key parameter of such packages based on a transient measurement technique ensuring high repeatability even at very low R/sub th/ values. The technique is illustrated on thermal transient measurements of high-power MOSFET devices. It is also presented how the same measurement results can be used for die attach quality analysis. Finally, a comparative method is shown for measuring the differences of R/sub th/ values among samples with many times higher resolution compared with a direct R/sub thJC/ measurement. KW - Thermal resistance KW - Electrical resistance measurement KW - Temperature KW - Packaging KW - Cold plates KW - MOSFET circuits KW - Semiconductor device measurement KW - Surface resistance KW - Microassembly KW - Thermal conductivity Y1 - 2005 U6 - https://doi.org/10.1109/TCAPT.2005.859768 SN - 1521-3331 VL - 28 IS - 4 SP - 630 EP - 636 ER - TY - JOUR A1 - Mayrock, Oliver A1 - Mikhailov, Sergej A. A1 - Steffens, Oliver A1 - Rössler, Ulrich T1 - Observability of the acoustic plasma mode in double-layered quantum dots JF - Physica E: Low-dimensional Systems and Nanostructures N2 - Double-layered quantum dots represent a novel realization of a multi-component plasma system. By modelling the system and applying classical concepts we investigate the oscillator strength of the acoustic plasma mode and its dependence on the system parameters. In view of recent experimental results, we discuss the observability of this collective excitation. KW - Quantum dots KW - Collective excitations KW - Magneto-plasmon KW - Acoustic modes Y1 - 1997 U6 - https://doi.org/10.1016/S1386-9477(97)00048-9 VL - 1 IS - 1-4 SP - 232 EP - 234 ER - TY - GEN A1 - Köhler, Ann-Kathrin A1 - Ostermeier, Nadine A1 - Schaubächer, Ursula A1 - Wolf, Lars T1 - Einfluss der Wärmespeicherfähigkeit von Massivbauteilen auf den Heizwärmebedarf und die Behaglichkeit eines Gebäudes BT - Literaturstudie. Masterprojektarbeit KW - Wärmespeicherung KW - Massivbau KW - Energieeinsparung KW - Behaglichkeit KW - Gebäude Y1 - 2015 CY - Regensburg ER - TY - RPRT A1 - Schaubeck, Simon A1 - Steffens, Oliver A1 - Rechenauer, Christian T1 - Integration eines kostenoptimierten, wirtschaftlich rentablen Blockheizkraftwerks mit mittlerer thermischer Leistung in ein genossenschaftliches Wohnquartier BT - TWO-Projekt (Technologie- und Wissenschaftsnetzwerk Oberpfalz), Endbericht 08 / 2015 Y1 - 2015 ER - TY - CHAP A1 - Rechenauer, Christian A1 - Neuleitner, Nikolaus A1 - Steffens, Oliver T1 - Empirische Untersuchung und Optimierung der Performance eines Modellprojekts für ein Effizienzhaus Plus mit solarthermischem Energiekonzept T2 - Fachforum Effizienzhaus Plus, 14.07.2015 Y1 - 2015 CY - Hamburg ER - TY - BOOK A1 - Steffens, Oliver T1 - Einfluss der Potentialmodulation auf Magnetotransport und Quantenchaos in lateralen Halbleiter-Übergittern Y1 - 1996 SN - 978-3-89608-726-3 N1 - Mikrofiche-Ausg. PB - Tectum-Verl. CY - Marburg ER - TY - RPRT A1 - Steffens, Oliver T1 - Saisonale Wärmespeicherung von opaken Bauteilen im Massivbau BT - Literatur-Übersicht Y1 - 2015 ER - TY - JOUR A1 - Raith, Lea A1 - Schmidling, Anja A1 - Windisch, Bastian T1 - Bauteiltemperierung BT - Studienarbeit Y1 - 2012 CY - Regensburg ER - TY - JOUR A1 - Steffens, Oliver A1 - Suhrke, Michael A1 - Rotter, Peter A1 - Rössler, Ulrich T1 - From Landau levels to universal fluctuations: Level statistics for lateral superlattices JF - Physical Review B N2 - We study the energy-level statistics for electrons in a lateral two-dimensional superlattice in dependence on the strength of the modulation potential at a given perpendicular magnetic field. The interminiband statistics at some selected point in the magnetic Brillouin zone shows a transition from degenerate Landau levels to universal spectral correlations while the corresponding classical dynamics displays a crossover from regular cyclotron orbits to chaotic motion. In terms of the nearest-neighbor spacing distribution, we observe the occurrence of level repulsion for all nonzero modulation amplitudes, which indicates a discontinuous transition to universal fluctuations for the smallest level spacings when the rotational invariance of the system is broken by a finite superlattice potential. In order to test the universality of the transition on larger scales, we propose a random matrix model with one transition parameter for comparison. Confirmed by two different types of potential shapes, we detect an explicit influence of the potential shape on the level spacing distributions, which hence cannot be described by the one-parameter model. Using the spectral rigidity, however, universal long-range fluctuations in the regime of negligible Landau-level mixing are found, in agreement with our random matrix model. Y1 - 1997 U6 - https://doi.org/10.1103/PhysRevB.55.4486 VL - 55 IS - 7 SP - 4486 EP - 4493 ER - TY - JOUR A1 - Steffens, Oliver A1 - Wensauer, Andreas A1 - Suhrke, Michael T1 - Collective excitations in quantum dots: Calculated Raman spectra JF - physica status solidi (b) N2 - Electronic Raman scattering provides information on excited states, whose collective character as being related to the charge or spin density can be distinguished by using different polarization configurations. We employ time-dependent spin-density functional theory to calculate Raman spectra for circular semiconductor quantum dots with up to 10 electrons for the polarized and depolarized configuration and in dependence on an external magnetic field and the momentum transfer. Our results demonstrate an increase of the collective (or many-particle) character of the excitations with increasing momentum transfer and a mixing of spin- and charge-density modes for excitations from ground states with finite spin density. These results have predictive character, because corresponding experiments on few-electron dots have not yet been performed. Y1 - 1999 U6 - https://doi.org/10.1002/(SICI)1521-3951(199909)215:1<365::AID-PSSB365>3.0.CO;2-C VL - 215 SP - 365 EP - 371 PB - Wiley ER - TY - JOUR A1 - Suhrke, Michael A1 - Steffens, Oliver A1 - Rotter, Peter A1 - Rössler, Ulrich T1 - Quantum chaos and magnetotransport in lateral superlattices: The transition from weak to strong modulation potential JF - Physica E: Low-dimensional Systems and Nanostructures N2 - Magnetotransport in lateral superlattices covers a variety of apparently different physics dependent on the amplitude of the modulation potential relative to the Fermi energy ranging from the weakly modulated 2DEG to the antidot lattice. Here we investigate the transition between weak modulation and antidots within the quantum-mechanical theory by studying (i) the single-particle spectrum with respect to quantum signatures of classical chaos and (ii) the change of characteristic features in the magnetoresistance starting from the Kubo formula. KW - Lateral superlattices KW - Quantum chaos KW - Level statistics KW - Magnetotransport KW - Commensurability oscillations Y1 - 1997 U6 - https://doi.org/10.1016/S1386-9477(97)00060-X SN - 1386-9477 VL - 1 IS - 1-4 SP - 281 EP - 287 ER - TY - RPRT A1 - Steffens, Oliver A1 - Rössler, Ulrich A1 - Suhrke, Michael T1 - Comment on "Shell Filling and Spin Effects in a Few Electron Quantum Dot" T2 - Physical Review Letters N2 - We briefly report on calculated addition spectra for electrons in a circular quantum dot with perpendicular magnetic field. We compare our current density functional theory calculations with recent experiments by Tarucha et al. [PRL 77, 3613 (1996)]. We find a very good qualitative agreement of the structures and find an additional effect caused by Hund's first rule in magnetic field, which gives rise to new substructures not discussed in the paper by Tarucha. Y1 - 1996 UR - http://arxiv.org/abs/cond-mat/9711077 VL - 77 SP - 3613 ER - TY - JOUR A1 - Steffens, Oliver T1 - Energetische Modernisierung und Restaurierung historisch wertvoller Stadtquartiere. Regenerative Energieversorgung als Schwerpunkt einer nachhaltigen Modernisierung historisch wertvoller Stadtquartiere (RENARHIS) JF - Zukunft bauen. Forschungsinitiative Zukunft Bau 2016 Y1 - 2016 IS - 5 SP - 62 EP - 65 PB - Bundesministerium für Umwelt, Naturschutz, Bau und Reaktorsicherheit (BMUB) ER - TY - GEN A1 - Steffens, Oliver A1 - Saller, Tobias T1 - Modernisierungskonzepte für das denkmalgeschützte Ensemble am Jahn-Stadion Regensburg Prüfeninger Straße 47–52 BT - Studiengang Gebäudeklimatik. Studienarbeiten Y1 - 2014 ER - TY - RPRT ED - Neuleitner, Nikolaus ED - Steffens, Oliver T1 - Energienutzungsplan für die Gemeinde Sinzing BT - Phase I. Bestandsaufnahme. Ergebnisbericht 1 (12/2011) Y1 - 2011 ER - TY - CHAP A1 - Gerhards, Helene ED - Mauer, Heike ED - Leinius, Johanna ED - Gerhards, Helene T1 - Von Patient*innenzellen und Patient*innenzahlen BT - Intersektionale Perspektiven auf biomedizinische Forschung T2 - Intersektionalität und Postkolonialität ; kritische feministische Perspektiven auf Politik und Macht Y1 - 2021 SN - 9783847424550 U6 - https://doi.org/10.3224/84742455 SP - 181 EP - 203 PB - Verlag Barbara Budrich CY - Opladen; Berlin ER - TY - JOUR A1 - Hartmann, Julia A1 - Heckner, Markus A1 - Plach, Ulrike T1 - Future Skills bei Studierenden – Messung und Einflussfaktoren JF - Die Neue Hochschule N2 - Eine sich stetig verändernde Arbeitswelt erfordert neue Kompetenzen von unseren Studierenden. In der Lehre gilt es nicht nur, diese Zukunftskompetenzen (sog. Future Skills) zu fördern, sondern diese auch zu messem und sichtbar zu machen. KW - Future Skills KW - Studierende Y1 - 2023 UR - https://www.yumpu.com/de/document/read/68553002/die-neue-hochschule-heft-6-2023 IS - 6 SP - 24 EP - 27 ER - TY - GEN A1 - Hartmann, Julia A1 - Heckner, Markus A1 - Plach, Ulrike T1 - Einfluss studierendenzentrierter Lehrelemente auf die Entwicklung von Zukunftskompetenzen bei Studierenden KW - Future Skills KW - Lehrkonzepte Y1 - 2023 ER - TY - GEN A1 - Hartmann, Julia T1 - Der Einfluss verschiedener Lehr-Lern-Formate auf das studentische Engagement und die Entwicklung von Future Skills bei Studierenden KW - Future Skills KW - Lehr-Lern-Formate Y1 - 2024 ER - TY - JOUR A1 - Koenig, Eric A1 - Guertler, Katherine T1 - One Size Does Not Fit All: Individuality and Perceptions of Improvement and Satisfaction Among TE Students JF - English Teaching & Learning N2 - Academic self-regulation is a key factor for motivation and learning achievement. Yet with the large range of individual factors, this is not a one-size-fits-all proposition. This study of L2 Technical English students at two German universities explored learners’ expectations and motivations, in particular regarding self-regulation and self-efficacy via the individual’s time investment in self-led study. In an initial survey, learners (N=1646) reported on their English skill levels and anticipated learning habits. Complementarily, the retrospective survey investigated learners’ (N=796) actual behavior during the course, their perceptions of language skill improvement, and their satisfaction. The initial survey indicates a clear understanding that time investment in self-regulated study will lead to greater improvement, an outcome confirmed in the retrospective survey. Additionally, students who invested more time in their coursework were more satisfied with their achievement, although most learners acknowledge they should have studied more. The results verify that learners recognize the nexus between self-regulation and language skill improvement, yet university students are not satisfied with their capacity to self-regulate their language learning strategies. While differences in students’ skill levels and academic self-efficacy result in divergent degrees of progress, students of all types report benefits to their language skills when motivated to self-regulated study. Y1 - 2021 U6 - https://doi.org/10.1007/s42321-021-00076-4 VL - 45 IS - 3 SP - 303 EP - 324 PB - Springer Nature ER - TY - JOUR A1 - Yeap, Kim Ho A1 - Meister, Tobias A1 - Oh, Zi Xin A1 - Nisar, Humaira T1 - Circuit Modelling Methodology for Dual-band Planar Antennas JF - APPLIED COMPUTATIONAL ELECTROMAGNETICS SOCIETY JOURNAL N2 - This paper presents a simple and systematic approach to determine the equivalent frequency-independent circuit model for a dual-band planar antenna. The Foster Canonical network synthesis technique with two RLC tanks has been employed to generate the two resonant bands of the antenna. The transfer function model is subsequently refined using a data fitting algorithm (viz the Nelder-Mead simplex algorithm). Parametric adjustments are performed at the final stage in order to further improve the accuracy of the final parameters. KW - COMPACT KW - Data-fitting algorithm KW - equivalent circuit KW - Foster canonical network KW - PATCH KW - planar antenna KW - resonant bands KW - SHAPED ANTENNA Y1 - 2021 U6 - https://doi.org/10.47037/2021.ACES.J.360822 VL - 36 IS - 8 SP - 1112 EP - 1115 PB - APPLIED COMPUTATIONAL ELECTROMAGNETICS SOC ER - TY - JOUR A1 - Li, Shisong A1 - Stock, Michael A1 - Schlamminger, Stephan T1 - A new magnet design for future Kibble balances JF - Metrologia N2 - We propose a new permanent magnet system for Kibble balance experiments, which combines advantages of the magnet designs invented by the National Physical Laboratory (NPL) and by the Bureau International des Poids et Mesures (BIPM). The goal of the proposed magnet system is to minimize the coil-current effect and to optimize the shielding at the same time. In the proposed design, a permanent magnet system with two gaps, each housing a coil, is employed to minimize the coil current effect, by reducing the linear coil-current dependence reported for the single air gap design by at least one order of magnitude. Both air gaps of the magnet are completely surrounded by high-permeability material, and hence the coils are shielded from outside magnetic fields and no magnetic field leaks outside of the magnet system. An example of the new magnet system is given and the analysis shows that the magnetic field in the air gap can be optimized to meet the requirement to be used in Kibble balances. KW - II WATT BALANCE KW - inductance force KW - JOULE BALANCE KW - Kibble balance KW - magnetic field KW - magnetic shielding KW - MARK-II KW - NATIONAL INSTITUTE KW - NIM KW - PLANCK CONSTANT KW - standards KW - SYSTEM KW - TECHNOLOGY Y1 - 2018 U6 - https://doi.org/10.1088/1681-7575/aab2ea VL - 55 IS - 3 SP - 319 EP - 325 PB - IOP PUBLISHING ER - TY - JOUR A1 - Schreiner, Rupert A1 - Langer, Christoph A1 - Prommesberger, Christian A1 - Dams, Florian T1 - Compact and Energy-Efficient Field Emission Cathodes for Sensor Applications JF - Advanced Materials Research N2 - We report on miniaturized silicon field emitter arrays for the application in compact and energy-saving vacuum-microelectronic devices, e.g. sensors or x-ray tubes. Since standard silicon semiconductor technology has been used for the fabrication, they may be easily integrated with other silicon based circuits and devices on the same chip. The silicon tip geometry and the operating conditions were optimized in order to obtain highly uniform and stable electron field emission from large area cathode arrays. A series of uniform hexagonal tip arrays containing each 547 tips were fabricated and characterized. The electron emission properties of both individual tips as well as of complete emitter arrays were investigated. A saturation level in the voltage-current characteristics was found, which can be explained by the limitation of the supply of electrons due to the p-type silicon wafer material. When operating the arrays in the current saturation regime at an emission current of ~ 1 nA per tip, a highly stable and low noise emission can be observed. KW - field emission KW - Si-Tip Cathodes KW - Vacuum Sensors Y1 - 2014 U6 - https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/amr.1024.372 VL - 1024 SP - 372 EP - 375 PB - Scientific.net ER - TY - JOUR A1 - Chee, See Wee A1 - Kammler, Martin A1 - Graham, Jeremy A1 - Gignac, Lynne A1 - Reuter, Mark C. A1 - Hull, Robert A1 - Ross, Frances M. T1 - Directed Self-Assembly of Ge Quantum Dots Using Focused Si2+ Ion Beam Patterning JF - scientific reports N2 - We show that templating a Si surface with a focused beam of Si2+ or Si+ ions can create suitable nucleation sites for the subsequent growth of self-assembled Ge quantum dots by chemical vapor deposition. To determine the mechanism of patterning we use atomic force microscopy to show that, similar to Ga+ patterning, the formation of a surface pit is required to enable control over Ge quantum dot locations. We find that relatively high implantation doses are required to achieve patterning, and these doses lead to amorphization of the substrate. We assess the degree to which the substrate crystallinity can be recovered by subsequent processing. Using in situ transmission electron microscopy heating experiments we find that recrystallization is possible at the growth temperature of the Ge quantum dots, but defects remain that follow the pattern of the initial implantation. We discuss the formation mechanism of the defects and the benefits of using Si ions for patterning both defects and quantum dots on Si substrates. KW - ARRAYS KW - AU KW - DAMAGE KW - GROWTH KW - IMPLANTATION KW - NUCLEATION KW - RECOVERY KW - silicon KW - TECHNOLOGY Y1 - 2018 U6 - https://doi.org/10.1038/s41598-018-27512-z VL - 8 SP - 1 EP - 10 PB - Nature ER - TY - JOUR A1 - Schnitzer, Susanne A1 - Richter, Stefanie A1 - Walter, Andreas A1 - Balke, Klaus A1 - Kuhlmey, Adelheid T1 - Die Bewertung der ambulanten Gesundheitsversorgung aus Versichertensicht BT - Ergebnisse der KBV-Befragung 2008 – Teil 1 JF - Gesundheits- und Sozialpolitik N2 - In den letzten Jahren haben verschiedene Institutionen bevölkerungsrepräsentative Befragungen zur Bewertung von Einzelaspekten der Gesundheitsversorgung durchgeführt (Bertelsmann Gesundheitsmonitor, Commonwealth Fund, Gesundheitssurvey des Robert Koch-Instituts, BKK-Befragung, WIdO-monitor). Hierzu zählt auch die Kassenärztliche Bundesvereinigung (KBV), die im Jahr 2006 die Forschungsgruppe Wahlen Telefonfeld (FGW) in Mannheim beauftragte, repräsentativ gesetzlich und privat Versicherte zur Zufriedenheit mit der ambulanten Versorgung sowie zum Bedarf an neuen Dienstleistungsangeboten zu befragen (KBV 2006; Rieser 2006). Eine zweite Versichertenbefragung der KBV erfolgte im Zeitraum Mai und Juni 2008, wiederum von der FGW durchgeführt. Die Ergebnisse dieser repräsentativen Erhebung werden im Rahmen von zwei Artikeln in Gesundheits- und Sozialpolitik vorgestellt. Im Zentrum des hier vorliegenden ersten Beitrags stehen die Inanspruchnahme der ambulanten haus- und fachärztlichen Versorgung, die Erfahrungen mit Terminvergabe und Wartezeiten sowie die Bewertungen der Versorgung durch die Versicherten. Darüber hinaus wird die Bedeutung von Individuellen Gesundheitsleistungen (IgeL) in der ambulanten Versorgung gesetzlich Versicherter diskutiert. Der zweite Artikel wird sich schwerpunktmäßig mit den Qualitätskriterien für die Wahl eines Arztes, mit den Erfahrungen von Veränderungen in der Medikamentenverordnung sowie mit der Akzeptanz neuer Versorgungsformen und Wahltarife befassen. Y1 - 2008 UR - https://www.jstor.org/stable/26766864 VL - 62 IS - 5 SP - 11 EP - 20 PB - Nomos ER - TY - JOUR A1 - Schnitzer, Susanne A1 - Richter, Stefanie A1 - Walter, Andreas A1 - Balke, Klaus A1 - Kuhlmey, Adelheid T1 - Die Bewertung der ambulanten Gesundheitsversorgung aus Versichertensicht BT - Ergebnisse der KBV-Befragung 2008 – Teil 2 JF - Gesundheits- und Sozialpolitik N2 - In der Ausgabe 5/2008 von „Gesundheits- und Sozialpolitik“ wurden erste Ergebnisse der zweiten Versichertenbefragung der Kassenärztlichen Bundesvereinigung (KBV) vorgestellt. Der Fokus der Darstellung lag im ersten Teil auf dem Inanspruchnahmeverhalten und der Zufriedenheit der Versicherten mit der ärztlichen Versorgung, wobei der Aspekt der Wartezeiten auf einen Termin und in der Arztpraxis ausführlich behandelt wurde. Insgesamt ist eine hohe Inanspruchnahme der haus- und fachärztlichen ambulanten Versorgung zu konstatieren sowie eine überwiegende Zufriedenheit mit der ärztlichen Betreuung. Die Ergebnisse zu den Wartezeiten auf einen Arzttermin spiegeln im Vergleich zu öffentlich geführten Debatten ein differenziertes Bild wider. Im zweiten Teil werden folgende Fragen vertiefend diskutiert: Welche Kriterien sind neben der fachlichen Kompetenz (für die Versicherten) für die Wahl der Arztpraxis relevant? Welche Bedeutung haben Gütesiegel als Qualitätsmarker für die Versicherten? Welche Erfahrungen haben die Versicherten mit Änderungen in der Medikamentenverordnung gemacht? Nehmen die Versicherten an Hausarztmodellen teil und wie bewerten sie die Versorgungsqualität? Welche Akzeptanz haben unterschiedliche Wahltarife bei den gesetzlich Versicherten? Y1 - 2008 UR - https://www.jstor.org/stable/26766877 VL - 62 IS - 6 SP - 19 EP - 27 PB - Nomos ER - TY - JOUR A1 - Balke, Klaus A1 - Schnitzer, Susanne A1 - Walter, Andreas A1 - Richter, Stefanie A1 - Kuhlmey, Adelheid T1 - Wartezeit ist ein wichtiges Kriterium bei der Wahl der Arztpraxis JF - Deutsches Ärzteblatt N2 - Ältere Patienten und Frauen warten länger auf einen Arzttermin als junge Versicherte und Männer, gesetzlich Versicherte länger als Privatpatienten. Die meisten Patienten sind aber keineswegs unzufrieden. 90 Prozent bekommen entweder am selben Tag einen Termin oder halten die Wartezeit für angemessen. Y1 - 2008 UR - https://www.aerzteblatt.de/pdf.asp?id=61240 VL - 105 IS - 34-35 SP - A1766 EP - A1768 PB - Deutscher Ärzteverlag ER - TY - CHAP A1 - Hausladen, Matthias A1 - Bomke, Vitali A1 - Buchner, Philipp A1 - Bachmann, Michael A1 - Knapek, Alexandr A1 - Schreiner, Rupert T1 - Influence of Geometrical Arrangements of Si Tip Arrays Fabricated by Laser Micromachining on their Emission Behaviour T2 - 2021 34th International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC): 7/5/2021 - 7/9/2021, Lyon, France N2 - ensely packed emitters on a field emission array lead typically to mutual shielding. Taking biology as a role model for geometric arrangements could be a way to reduce this effect. For comparison, two electron sources, one with a spiral and a second with conventional rectangular (orthogonal) arranged emitters, were fabricated and investigated. Emission currents of 6 µA in the spiral ordered array and 120 µA in the rectangular array were reached with an extraction voltage of 400 V. From a mid-term measurement over 1 h a current stability of ±8.8 % (spiral) respectively ±5.7 % (rectangular) with a mean degradation of -3.0 µA/h (spiral) and -0.12 µA/h (rectangular) could be observed. KW - aperture field KW - emission grid KW - Fabrication KW - laser micromachining KW - parastichy tip arrangements KW - silicon field emission KW - Stability analysis KW - Spirals KW - Field emitter array KW - Voltage measurement Y1 - 2021 SN - 978-1-6654-2589-6 U6 - https://doi.org/10.1109/IVNC52431.2021.9600717 SN - 2380-6311 PB - IEEE CY - Piscataway, N.J. ER - TY - CHAP A1 - Buchner, Philipp A1 - Bomke, Vitali A1 - Hausladen, Matthias A1 - Edler, Simon A1 - Bachmann, Michael A1 - Schreiner, Rupert T1 - Investigation on the Emission Behaviour of p-doped Silicon Field Emission Arrays with Individually Controllable Single Tips T2 - 2021 34th International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC): 7/5/2021 - 7/9/2021, Lyon, France N2 - Four individually controllable emission tips consisting of <111> p-Type silicon, were structured on a glass substrate by laser ablation. A matching extraction grid was manufactured in the same manner and aligned with the emitters. The resulting samples were characterized in ultra-high vacuum. As expected, the individual currents show a strong saturation and in the saturation region a considerably lower current fluctuation than n-type silicon due to charge carrier depletion. The individual tips behave completely independent behaviour from each other and the overall emission can be deduced from the sum of the currents through the individual tips. Y1 - 2021 SN - 978-1-6654-2589-6 U6 - https://doi.org/10.1109/IVNC52431.2021.9600756 SP - 1 EP - 2 PB - IEEE ER - TY - CHAP A1 - Hecht, Fabian A1 - Bauereiβ, Florian A1 - Sellmair, Josef A1 - Buchner, Philipp A1 - Hausladen, Matthias A1 - Schreiner, Rupert T1 - Electron Beam Induced Growth of Carbon Nanotips on Tungsten and Silicon Fieldemitters T2 - 2023 IEEE 36th International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 10-13 July 2023, Cambridge, MA, USA N2 - In our experiments we grew electron emitting carbon nanostructures on tungsten tips. Subsequently, we transferred the growth process to pre-structured phosphorus-doped n-type silicon and obtained emitting carbon nanostructures directly grown on silicon. After growth of the nanostructures, the silicon field emitters showed increased emission currents of 76 nA at 1.1 kV (compared to 6 nA under the same conditions before growth). KW - Behavioral sciences KW - Nanostructures KW - Silicon KW - Carbon dioxide KW - Current measurement KW - Electron beams KW - Tungsten Y1 - 2023 SN - 979-8-3503-0143-4 U6 - https://doi.org/10.1109/IVNC57695.2023.10188960 SP - 160 EP - 162 PB - IEEE ER - TY - CHAP A1 - Höller, Christoph A1 - Blödt, Adrian T1 - Messung und Bewertung von elastischen Bodenbelägen auf tief abgestimmten schwimmenden Estrichen in Fitnessstudios T2 - Tagungsband DAGA 2021: 47. Jahrestagung für Akustik, 15.-18. August 2021, Wien und Online Y1 - 2021 UR - https://www.dega-akustik.de/publikationen/online-proceedings PB - Deutsche Gesellschaft für Akustik e.V. CY - Berlin ER - TY - CHAP A1 - Allaham, Mohammad M. A1 - Buchner, Philipp A1 - Schreiner, Rupert A1 - Knápek, Alexandr T1 - Testing the performance of Murphy-Good plots when applied to current-voltage characteristics of Si field electron emission tips T2 - 2021 34th International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC): 5-9 July 2021, Lyon, France N2 - Murphy-Good plots are the most recent type of the analysis methods in the field electron emission theory, this type of plots has several useful characteristics such as: having the very-nearly straight line to represent the current-voltage characteristics and the absence of the correction factors in the mathematical procedure of the analysis process. In this study, n-type <111> and <100> Si chips containing four individual emitters are used as base emitters and mounted in a diode configuration field emission setup where the experiments are operated in an ultra-high vacuum ( 10-7 Pa). Each chip has four individual controllable emitters with 5 µm distance between the Si tips and the same material grid. Laser micromachining and subsequent wet chemical etching technique is used to structure and polish the tips. Murphy-Good plots are used to study the behavior of the Si individual tips and compare the results with the array current by extracting the field emission characterization parameters of the emitters. KW - characterization parameter KW - Current-voltage characteristics KW - electron emission KW - electron source KW - Limiting KW - Micromachining KW - Murphy-Good plot KW - n-type Si chip KW - RESISTANCE KW - safety KW - silicon Y1 - 2021 U6 - https://doi.org/10.1109/IVNC52431.2021.9600690 SP - 1 EP - 2 PB - IEEE ER - TY - CHAP A1 - Blahníková, Barbora A1 - Müller, D. A1 - Waas, M. A1 - Lechner, Alfred T1 - Multilyzer - microfluidic online measuring system for the analysis of environmentally relevant substances T2 - AMA Conferences 2017 : Proceedings : SENSOR 2017 / Nürnberg 2017-05-30 - 2017-06-01 Y1 - 2017 SN - 978-3-9816876-4-4 U6 - https://doi.org/10.5162/sensor2017/P5.2 SP - 696 EP - 699 PB - AMA Service GmbH CY - Wunstorf ER - TY - CHAP A1 - Schliermann, Rainer ED - Hengelmolen-Greb, A. ED - Jöbges, M. T1 - Fußball T2 - Leitfaden Physiotherapie in der Neurologie. Physiotherapie in der Neurologie Y1 - 2019 SP - 443 EP - 444 PB - Elsevier ER - TY - CHAP A1 - Höller, Christoph A1 - Zeitler, Berndt T1 - Playing ball with transients on the force plate and on the reception plate T2 - Noise control for a better environment. PROCEEDINGS OF INTERNOISE 2019. The 48th International Congress and Exhibition on Noise Control Engineering, June 16-19, Madrid KW - Impact Noise KW - Reception Plate KW - Transient Excitation KW - Heavy Soft Impact Source Y1 - 2019 UR - http://www.sea-acustica.es/fileadmin//INTERNOISE_2019/Fchrs/Proceedings/2160.pdf PB - INTERNATIONAL INSTITUTE OF NOISE CONTROL ENGINEERING ER - TY - CHAP A1 - Höller, Christoph A1 - Steffens, Oliver T1 - Bauphysikalische Grundlagenausbildung an der OTH Regensburg während der COVID-19-Pandemie T2 - Tagungsband DAGA 2021: 47. Jahrestagung für Akustik, 15.-18. August 2021, Wien und Online Y1 - 2021 UR - https://www.dega-akustik.de/publikationen/online-proceedings SN - 978-3-939296-18-8 PB - Deutsche Gesellschaft für Akustik e.V. ER - TY - CHAP A1 - Höller, Christoph A1 - Mahn, Jeffrey T1 - The Measurement of the Total and Resonant Radiation Efficiencies for Lightweight Constructions T2 - Taming Noise and Moving Quiet. 46rd International Congress on Noise Control Engineering (Internoise 2017), 27-30 August 2017, Hong Kong Y1 - 2017 UR - 978-1-5108-5238-9 UR - http://toc.proceedings.com/37265webtoc.pdf SP - 1931 EP - 1937 PB - International Institute of Noise Control Engineering (I-INCE) ER - TY - CHAP A1 - Höller, Christoph A1 - Zeitler, Berndt A1 - Schoenwald, Stefan T1 - Anwendung von Cremers parallelen Platten auf leichte Bauelemente T2 - Fortschritte der Akustik - DAGA 2017 : 43. Deutsche Jahrestagung für Akustik, 6.-9. März 2017 in Kiel Y1 - 2017 UR - https://pub.dega-akustik.de/DAGA_2017/data/daga17_all.pdf SP - 521 EP - 524 PB - Deutsche Gesellschaft für Akustik e.V. ER - TY - JOUR A1 - Melekhov, Evgeny A1 - Penn, Tatjana A1 - Weidauer, Tobias A1 - Abb, Valerius A1 - Kammler, Martin A1 - Lechner, Alfred T1 - Tunable nanopillar array on a quartz-fiber tip for surface enhanced Raman scattering (SERS) detection JF - tm - Technisches Messen N2 - In this work, a simple two-step method to create tunable self-assembled three-dimensional nanostructure array-like nanoantennas directly on the tip of an optical quartz glass fiber is described. The structures are prepared by using dry etching of the fiber tip. For the etching process, gold nanoparticles fabricated by thermal dewetting technique were used as template. The structures are applied as sensors for label-free analysis of organic substances in ppb range, such as drug residues in liquid solutions. The measurements are carried out by a portable Raman device with an exchangeable sensor head utilizing the SERS-effect. This method allows in situ applications. In order to characterize the SERS cells, para-thiocresol and diclofenac sodium are used as model substances. For optimization of the substrate performance, different thicknesses of the dewetting-layer (6, 9, 12 nm), different etching times for formation of the pillars (6, 8, 10 and 12 min), and different thicknesses of SERS-metallization (25, 50, 75 nm) of gold and silver are compared. In order to show the applicability of the structure on the tip of a fiber, measurements from the upper side and from the underside of the substrate on quartz plates are compared. Reproducible SERS enhancement factors up to 10 7 {10^{7}} were achieved. N2 - In dieser Arbeit wird eine zweistufige Methode beschrieben, um einstellbare selbstorganisierte dreidimensionale SERS-aktive Nanostrukturen in Form von Nanosäulen auf der Spitze einer optischen Quarzglasfaser herzustellen. Die Strukturen werden durch trockenchemisches Ätzen der Faserspitze erzeugt. Für den Ätzprozess werden als Maske Goldnanopartikel verwendet, die mittels Thermal Dewetting hergestellt werden. Der Sensor wird für eine markierungsfreie Analyse von organischen Substanzen, wie bspw. Medikamentenrückstände in wässrigen Lösungen, im ppb-Bereich eingesetzt. Die Messungen werden mit einem tragbaren Raman-Gerät mit einem austauschbaren Sensorkopf durchgeführt. Um die SERS-Zellen zu charakterisieren, werden para-Thiocresol und Diclofenac-Natrium als Modellsubstanzen verwendet. Zur Optimierung der Substratleistung werden unterschiedliche Dicken der Dewettinglayer (6, 9, 12 nm), unterschiedliche Ätzzeiten der Nanosäulen (6, 8, 10 und 12 min) und unterschiedliche Schichtdicken der SERS-Metallisierung (25, 50, 75 nm) von Gold und Silber verglichen. Um die Anwendbarkeit der Struktur an der Spitze einer Faser zu zeigen, werden Messungen von der Oberseite und von der Rückseite des Substrats in Form eines Quarzglasplatten verglichen. Diese Struktur liefert einen reproduzierbaren Verstärkungsfaktor von bis zu 107. T2 - Einstellbare Nanosäulenanordnung auf der Spitze einer Quarzglasfaser für oberflächenverstärkte Raman-Spektroskopie (SERS) Y1 - 2022 U6 - https://doi.org/10.1515/teme-2021-0093 VL - 89 IS - 1 SP - 70 EP - 81 PB - de Gruyter ER - TY - JOUR A1 - Kammler, Martin A1 - Chidambarrao, D. A1 - Schwarz, K. W. A1 - Black, C. T. A1 - Ross, Frances M. T1 - Controlled nucleation of dislocations by a spatially localized stress field JF - Applied Physics Letters N2 - We analyze the nucleation of dislocations in silicon at spatially localized stress fields generated by silicon nitride pads having a high intrinsic stress. The nucleation and final configuration of the dislocations were studied using hot-stage transmission electron microscopy and were compared with dislocation simulations based on calculations of the stress fields around the pads. We find that the simulated configurations match well with the experimental data, and we show that the dislocation configuration can be controlled by the pad size. Y1 - 2005 U6 - https://doi.org/10.1063/1.2061862 VL - 87 IS - 13 PB - AIP ER - TY - JOUR A1 - Kammler, Martin A1 - Horn-von Hoegen, Michael T1 - Transition in growth mode by competing strain relaxation mechanisms BT - surfactant mediated epitaxy of SiGe alloys on Si JF - Applied Physics Letters N2 - Surfactant mediated epitaxy of Si(1−x)Gex alloys on Si(111) can, besides technological importance, clarify the influence of the lattice mismatch during surfactant mediated heteroepitaxial growth. For low Ge concentration we find an immediate layer-by-layer growth, whereas at high Ge concentration a roughening transition followed by relaxation of the lattice mismatch in a periodic dislocation network is preferred. This behavior can be explained by comparing the dislocation nucleation rate on a smooth surface with the island nucleation rate on a pseudomorphic film. Y1 - 2004 U6 - https://doi.org/10.1063/1.1803914 VL - 85 IS - 15 SP - 3056 EP - 3058 PB - American Institute of Physics ER - TY - CHAP A1 - Höller, Christoph A1 - Blödt, Adrian A1 - Schneider, M. T1 - Kenngrößen elastisch gebundener Schüttungen auf Decken in Holzbauweisen T2 - Fortschritte der Akustik DAGA 2022: 48. Jahrestagung für Akustik, 21. - 24. März 2022, Stuttgart und Online Y1 - 2022 UR - https://www.dega-akustik.de/publikationen/online-proceedings PB - Deutsche Gesellschaft für Akustik e.V. CY - Berlin ER - TY - JOUR A1 - Chee, See Wee A1 - Kammler, Martin A1 - Balasubramanian, Prabhu A1 - Reuter, Mark C. A1 - Hull, Robert A1 - Ross, Frances M. T1 - Microstructural changes in silicon induced by patterning with focused ion beams of Ga, Si and Au JF - Ultramicroscopy N2 - We use focused beams of Ga(+), Au(+) and Si(++) ions to induce local microstructural changes in single crystal silicon. The ions were delivered as single spot pulses into thin Si membranes that could subsequently be imaged and annealed in situ in a transmission electron microscope. For each ion, the focused ion beam implantation created an array of amorphous regions in the crystalline membrane. Annealing causes solid phase epitaxial regrowth to take place, but we show that the resulting microstructure depends on the ion species. For Ga(+) and Au(+), precipitates remain after recrystallization, while for Si(++), dislocation loops form around the periphery of each implanted spot. We attribute these loops to defects formed during solid phase epitaxial regrowth, with controlled placement of the loops possible. KW - dislocation engineering KW - focused ion beam KW - In situ electron microscopy KW - solid phase epitaxial regrowth Y1 - 2013 U6 - https://doi.org/10.1016/j.ultramic.2012.07.004 VL - 127 SP - 126 EP - 131 PB - Elsevier ER - TY - CHAP A1 - Zheng, Jihong A1 - Fuhrmann, Thomas A1 - Xu, Boqing A1 - Schreiner, Rupert A1 - Jia, Hongzhi A1 - Zhang, Wei A1 - Wang, Ning A1 - Seebauer, Gudrun A1 - Zhu, Jiyan T1 - Curriculum design and German student exchange for Sino-German Bachelor program majored in optoelectronics engineering T2 - 14th Conference on Education and Training in Optics and Photonics (ETOP 2017), 29-31.05.2017, Hangzhou, China, 29-31.05.2017 N2 - Different higher education backgrounds in China and Germany led to challenges in the curriculum design at the beginning of our cooperative bachelor program in Optoelectronics Engineering. We see challenges in different subject requirements from both sides and in the German language requirements for Chinese students. The curriculum was optimized according to the AS IIN criteria, which makes it acceptable and und erstandable by both countries. German students are integrated into the Chinese class and get the sa me lectures like their Chinese colleagues. Intercultural and curriculum challenges are successfully solved. The results are summarized to provide an example for other similar international programs. KW - cooperative bachelor program KW - optoelectronics KW - microsystems KW - student exchange Y1 - 2017 U6 - https://doi.org/10.1117/12.2269574 PB - SPIE ER - TY - GEN ED - Babik, Wieslaw ED - Ohly, Heinz Peter ED - Weber, Karsten T1 - Theorie, Semantik und Organisation von Wissen T2 - Theory, Information and Organization of Knowledge KW - Informations- und Dokumentationswissenschaft KW - Wissensorganisation KW - Wissensextraktion KW - Automatische Sprachanalyse KW - Semantic Web KW - Indexierung KW - Scientific Community Y1 - 2017 SN - 978-3-95650-239-2 U6 - https://doi.org/10.5771/9783956503269 PB - Ergon Verlag CY - Würzburg ER - TY - JOUR A1 - Guertler, Katherine T1 - Mixed language learner levels in higher education as an adverse effect of post-secondary education de-tracking JF - Fremdsprachen und Hochschule : FuH N2 - Die unterschiedlichen Bildungswege in der deutschen Sekundarstufe führen abhängig von der Schulform zu abweichenden Lernergebnissen der Englischkompetenzen. Doch in der Tertiärstufe werden die Bildungswege wieder zusammengeführt und die Absolvent(inn)en aller Schulformen befinden sich in einer gemeinsamen Lernumgebung. Die vorgestellte empirische Untersuchung von über 450 Studierenden an zwei bayerischen Fachhochschulen hinsichtlich des Bildungshintergrunds und der Sprachkompetenzen belegt, dass die Lernenden in den nunmehr gemeinsamen Englischkursen im Tertiärbereich über stark unterschiedliche Kompetenzniveaus verfügen. Die Daten zeigen eine ausgeprägte Kaskade im Kompetenzniveau basierend auf der früheren Sekundarschulform, wobei Studierende der vertieften allgemeinbildenden Schule (Gymnasium) ihre Qualifikationen höher einschätzen als Studierende von berufsbildenden Sekundarschulen (FOS und BOS). Obwohl in allen bayerischen Sekundarschulformen mindestens das GER-Niveau B2 als Standard für Schulabgänger festgelegt ist, geben in der Stichprobe von Studierenden an Fachhochschulen mehr als die Hälfte der Lernenden das Niveau B1 in mindestens einer der Fertigkeiten für Englisch an; und etwas mehr als 8% der Studierenden berichten ihre Selbsteinschätzung in jeder Fertigkeit als Niveau B1 oder niedriger. Die Ergebnisse lassen erkennen, dass ein breites Spektrum an Kompetenzniveaus von B1 bis C1 an den Fachohochschulen häufig endemisch ist, und dass die derzeitige Praxis, Englischkurse im Tertiärbereich für die idealisierten B2-Lernenden zu gestalten, den Bedürfnissen vieler Studierenden nicht ausreichend entgegenkommt. KW - Bildungspolitik KW - Empirische Forschung KW - Englischunterricht KW - Fachhochschule KW - Fremdsprachenunterricht KW - Sekundarbereich KW - Tertiärbereich Y1 - 2018 SN - 0178-0336 VL - 92 SP - 19 EP - 36 PB - Clearingstelle d. AKS CY - Bochum ER - TY - BOOK A1 - Janssen, Johann A1 - Danz, Simone A1 - Eich-Stapf, Karin A1 - Sass, Elke A1 - Breutmann, Bern A1 - Hopfenmüller, Manfred A1 - Schmid, Andreas A1 - Wagner, Joachim T1 - Qualitätsmanagement für Hochschulen BT - Das Praxishandbuch N2 - Seit in den neunziger Jahren in Deutschland begonnen wurde das Konzept des Neuen Steuerungsmodels ("New Public Management") einzuführen, werden Hochschulen stärker als bisher an ihrer Leistungsfähigkeit gemessen. Um die öffentlichen Verwaltungen zu modernisieren, werden hierbei Managementtechniken aus der privaten Wirtschaft zur strategischen Steuerung an Hochschulen und an anderen öffentlichen Verwaltungen übernommen. Die Hochschulen werden verstärkt als Dienstleister wahrgenommen und stärker an ihrem tatsächlichen Output gemessen. Parallel dazu hat der internationale Wettbewerb zwischen Hochschulen zugenommen. Beide Entwicklungen erfordern von den Hochschulen, effektive Managementstrukturen zu entwickeln, die ihre Qualität und Leistungsfähigkeit sichern und systematisch weiterentwickeln. Hierbei dürfen aber die für den Erfolg der Hochschule essenziellen Faktoren wie Kreativität, Innovation und Diversität nicht eingeschränkt, sondern müssen vielmehr gestärkt werden. Zudem weisen Hochschulen mit ihren demokratischen hochschulpolitischen Gremien sowie der grundgesetzlich garantierten Freiheit von Forschung und Lehre besondere Strukturen auf, die sich grundsätzlich von denen privatwirtschaftlicher Unternehmen unterscheiden. Viele Aspekte klassischer Managementsysteme und die Prozesse zu deren Einführung können also nicht eins zu eins auf Hochschulen übertragen werden. In der DGQ-Arbeitsgruppe 360 "Einführung von Qualitätsmanagement an Hochschulen" haben Experten aus verschiedenen Hochschulen ihre Erfahrungen und ihr Wissen zusammengetragen, wie ein ganzheitliches Qualitätsmanagementsystem den besonderen Zielsetzungen und Strukturen von Hochschulen gerecht werden kann. In diesem Praxisbuch zeigen die Autoren Schritt für Schritt, wie ein solches Qualitätsmanagementsystem eingeführt und gestaltet werden kann und wie es die Qualität und Leistungsfähigkeit der Hochschule erhöhen kann. Dabei wird ein starker Fokus auf die Prozessorientierung und den Einsatz von Verbesserungszyklen gelegt. Die relevanten Standards und Normen werden beschrieben und die wichtigsten Begriffe geklärt. Besonders wertvoll sind aber sicher die vielen Beispiele aus über 20 Hochschulen und die Erläuterungen zu typischen Stolpersteinen und wichtigen Erfolgsfaktoren - zum Beispiel die große Bedeutung von Kommunikation und Projektmanagement bei der Einführung eines Qualitätsmanagementsystems. Mit diesem Buch hat die Arbeitsgruppe eine Hilfestellung für Praktiker erarbeitet, die sich in Präsidien, Verwaltungsreferaten und den Fachbereichen der Hochschulen mit dem integrierten Management, der Evaluation von Forschung, Studium und Lehre oder der Qualitätssicherung beschäftigen. Zudem leistet sie einen wertvollen Beitrag, den Qualitätsgedanken auf die spezielle Organisation Hochschule zu übertragen. KW - Ausbildungsunterlage KW - Deutschland KW - Dienstleister KW - Erfolgsfaktor KW - Handbuch KW - Innovation KW - Kreativität KW - Managementsystem KW - Projektmanagement KW - Prozessorientierung KW - Qualitätsmanagement KW - Qualitätssicherung KW - Universität KW - Wettbewerb Y1 - 2015 U6 - https://doi.org/10.3139/9783446443976.fm PB - Hanser CY - München ER - TY - CHAP A1 - Blahníková, Barbora A1 - Müller, D. A1 - Waas, M. A1 - Lechner, Alfred T1 - Multilyzer - Mikrofluidisches Echtzeitmesssystem für die Analyse umweltrelevanter Substanzen T2 - 7. MikroSystemTechnik Kongress "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", 23.-25. Oktober 2017, München N2 - Die übermäßige Verwendung von stickstoffbasierten Düngemitteln in der Landwirtschaft stellt eine Gefährdung für die Umwelt und Lebewesen dar. So ist die Analyse von Boden- und Grundwasser zu einem wesentlichen Bestandteil der Nachhaltigkeit und der ökologischen Erhaltung geworden. Dafür bietet der Multilyzer eine passende Lösung. Der Multilyzer ist ein mikrofluidisches Analysesystem zur Bestimmung niedrigster Konzentrationen von Nitrat, Nitrit und Ammonium, die alle wesentliche Bestandteile des Stickstoffkreislaufs sind. Welche bei Übermäßiger Aufnahme im Körper krebserregend wirken und den Sauerstofftransport im Blutkreislauf stören. Der Aufbau ist eine Kombination aus Absorptions- und Fluoreszenzspektroskopie. Der Betrieb mit einer 12 Volt Batterie ermöglicht die Verwendung des Multilyzer-Systems zur Online-Messung im Feld. Somit können sehr kurze Analysezeiten realisiert und der Einfluss von Umwandlungs- bzw. Abbauprozessen vermieden werden. Das gesamte Messsystem wird im Kompetenzzentrum Nanochem an der OTH Regensburg entwickelt, inklusive Fertigungstechnologien, Software- und Hardwaresteuerung. N2 - Excessive use of nitrogen based fertilizers in agriculture represents an environmental hazard. Thus, analysis of soil water and groundwater has become an essential part of sustainability and ecological preservation. On this account, the Multilyzer provides a suitable solution. The Multilyzer is a microfluidic measuring system for the determination of lowest concentrations of nitrate, nitrite and ammonium, which are essential components of the nitrogen cycle. The measurement combines the principles of absorption and fluorescence spectroscopy. As a transportable unit, online measurements can be carried out using a 12 Volts battery power supply. Consequently, the influence of conversion and degradation processes can be avoided. The complete device is developed at the Centre of Excellence Nanochem at OTH Regensburg including fabrication technologies, software and hardware control. T2 - Multilyzer - Microfluidic Online Measuring System for the Analysis of Environmentally Relevant Substances KW - Absorptionsspektroskopie KW - Ammonium KW - Analysensystem KW - Blutkreislauf KW - Bodenwasser KW - Düngemittel KW - Echtzeitsystem KW - Fluoreszenzspektroskopie KW - Messgerät KW - Messsystem KW - Mikrofluidik KW - Nachhaltigkeit KW - Nitrat KW - Nitrit KW - Online-Messung KW - Programmsteuerung KW - Stickstoff Y1 - 2017 SN - 978-3-8007-4491-6 SP - 382 EP - 385 PB - VDE-Verlag CY - München ER - TY - CHAP A1 - Bieker, Johannes A1 - Roustaie, Farough A1 - Langer, Christoph A1 - Schreiner, Rupert A1 - Schlaak, Helmut F. T1 - Innovatives Verfahren zur Herstellung und Integration metallischer Nanokonen für die Feldemission T2 - MikroSystemTechnik Kongress 2017 : MEMS, Mikroelektronik, Systeme 23.-25. Oktober 2017 in München N2 - In den letzten Jahren wurde am Institut für Elektromechanische Konstruktionen die Fabrikation und Integration von metallischen Nanodrähten und Nanokonen mittels Template-basierter Abscheidung erforscht. Diese Variante der in-situ Abscheidung von metallischen Nanostrukturen bietet eine Vielzahl von Anwendungsmöglichkeiten. Im Rahmen dieses Beitrags werden das Herstellungsverfahren zur Herstellung metallischer Nanokonen vorgestellt. Dies beinhaltet sowohl die Templatepräparation mittels asymmetrischen Ätzens als auch die anschließende Integration mittels galvanischer Abscheidung. Eine Anwendung der metallischen Nanokonen stellt die Verwendung als Feldemitter in der Vakuumelektronik dar. Es werden erste Messungen der Langzeitstabilität des Feldemissionsstromes der metallischen Konen präsentiert. N2 - Recently the fabrication and integration of metallic nanowires and nanocones based on ion-track etched templates has been in the focus of research at the Institute for Electromechanical Design at the TU Darmstadt. Using the method for the in-situ deposition various applications are feasible. In this paper we present the fabrication method for in-situ deposition of metallic nanocones, including the preparation of the polymer templates based on asymmetric etching and the process description for integration via electrodeposition. Giving one example for an application, the metallic nanocones can be used as field emitters in vacuum electronics. The field emission properties will be presented briefly. T2 - Innovative fabrication method for in-situ deposition of metallic nanocones for field emission KW - Ätzen KW - Feldemission KW - galvanische Abscheidung KW - Herstellverfahren KW - Langzeitstabilität KW - Nanodraht KW - Nanostruktur KW - Polymer KW - Prozessbeschreibung KW - Vakuum Y1 - 2017 SN - 978-3-8007-4491-6 IS - CD-ROM SP - 797 EP - 800 PB - VDE-Verlag CY - München ER - TY - CHAP A1 - Betz, Michael A. A1 - Lechner, Alfred T1 - Sprayganik - Spraytool für organische Halbleiter T2 - 7. MikroSystemTechnik Kongress "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", 23.-25. Oktober 2017, München N2 - Sprühbeschichtung stellt einen kostengünstigen und materialeffizienten aber komplexen Prozess dar. Um diese Vorteile für die Abscheidung teurer organischer Halbleiter zu nutzen, wurde ein Sprühbeschichter entwickelt, der neueste Anforderungen an den Prozess erfüllt. Zudem konnten selbstansaugende Mikrosprühdüsen mikrotechnologisch in Silizium realisiert werden, welche bereits eine bis zu vierfache Materialeffizienz im Vergleich zu herkömmlichen airbrush-Düsen nachweisen konnten. Die neueste Düsengeneration zeigt nun eine weiter verbesserte Zerstäubung, was bei gesprühten OPDs zu einer reduzierten Dunkelstromdichte von 9,1×10-6 mA·cm-2 (-5 V) und erhöhten externen Quanteneffizienz von 78,5% (530 nm, -5 V) führt. N2 - Generally, spray coating is a cheap and material efficient but complex process. To exploit those advantages for deposition of expensive organic semiconductors, we developed a spray coater to fulfil latest requirements. Furthermore, it was possible to realize venturi micro nozzles that already showed up to 4-fold material efficiency when compared to conventional airbrush-nozzles. The latest nozzle layout shows an even better atomization resulting in photodiodes with a reduced dark current density of 9,1×10-6 mA·cm-2 (-5 V) and increased external quantum efficiency of 78,5% (530 nm, -5 V). KW - Dunkelstrom KW - organischer Halbleiter KW - Photodiode KW - Silicium KW - Spritzbeschichten KW - Spritzschicht KW - Sprühdüse KW - Zerstäubung Y1 - 2017 SN - 978-3-8007-4491-6 SP - 747 EP - 750 PB - VDE-Verlag CY - München ER -