TY - RPRT A1 - Unger, J. A1 - Rück, Thomas A1 - Landgraf, Ferdinand A1 - Bierl, Rudolf T1 - Herstellung und Analyse der Resonanzfrequenz eines MEMS Cantilever für das CEPAS Verfahren N2 - Diese Abhandlung beschreibt das Konzept eines mikroeletromechanischen Systems (MEMS), das im Messverfahren der cantilever enhanced photoacoustic spectroscopy (CEPAS) Verwendung finden soll. Es wird die Herstellung eines einseitig eingespannten Biegebalkens aus Silizium mittels deep reactiv ion etching (DRIE) beschrieben. Des Weiteren wird die Resonanzfrequenz dieses Cantilevers mit Hilfe Laservibrometertechnik untersucht. Die resultierenden resonanten Schwingungen 0.Ordnung werden mit den Ergebnissen einer vereinfachten theoretischen Näherung verglichen. Die Messergebnisse stehen in gutem Zusammenhang mit den theoretischen Werten. Solche Cantilever, die aus silicon on insula tor (SOI) Wafer angefertigt wurden, weisen bei einer Zielfrequenz ein mittlere Abweichung von Δf = 118±26Hz (bzw.Δf =0,76±0,17%) auf. Y1 - 2015 ER - TY - CHAP A1 - Rück, Thomas A1 - Landgraf, Ferdinand A1 - Läpple, I. A1 - Unger, J. A1 - Matysik, Frank-Michael A1 - Bierl, Rudolf T1 - Specification of an improved photoacoustic setup for high-sensitive, low-cost NO2 trace gas detection T2 - 18th International Conference on Photoacoustic and Photothermal Phenomena (ICPPP18), 2015, September 6-10, Novi Sad, Serbia Y1 - 2015 ER -