TY - CHAP A1 - Hausler, Peter A1 - Fischer, Johannes A1 - Wunderlich, Lukas A1 - Recum, Patrick A1 - Peller, Sebastian A1 - Hirsch, Thomas A1 - Bierl, Rudolf T1 - Miniaturisierte Sensoren basierend auf Oberflächenplasmonenresonanz, Chancen und Herausforderungen T2 - DGaO-Proceedings 2021 N2 - Derzeit gibt es zahlreiche Bereiche, wie Umwelt Monitoring und zivile Infrastruktur in denen geeignete Sensoren für die Überwachung der Systeme fehlen. SPR-basierte Sensoren haben das Potential diese Lücke zu schließen. Um für den Einsatz in der Umwelt tauglich zu werden, müssen die Sensoren noch robuster werden. Hier wird eine mögliche Lösung gezeigt. Y1 - 2021 UR - https://www.dgao-proceedings.de/download/122/122_a21.pdf PB - Dt. Gesellschaft für angewandte Optik CY - Erlangen-Nürnberg ER - TY - CHAP A1 - Peller, Sebastian A1 - Zankl, Tobias A1 - Fischer, Christoph A1 - Bierl, Rudolf T1 - Fast sound field characterization of beamforming capable capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT) arrays by refracto-vibrometry T2 - IEEE IUS 2023, International Ultrasonics Symposium, Montréal, September 3-8, 2023 N2 - We introduce a time-optimized setup based on refracto-vibrometry for the purpose of scanning the sound field of capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT) arrays primarily for the qualification of their beamforming capability. In comparison to commonly used microphones on a traversing stage the proposed method is substantially faster and consumes only a few minutes of time for a complete two-dimensional sound field containing about 100.000 scan points. T2 - Schnelle Schallfeld-Charakterisierung von CMUT-Arrays mithilfe von Refrakto-Vibrometrie KW - CMUT KW - LDV KW - refracto-vibrometry KW - sound field KW - beamforming Y1 - 2023 SN - 979-8-3503-4645-9 U6 - https://doi.org/10.1109/IUS51837.2023.10308126 SN - 1948-5727 SP - 1 EP - 3 PB - IEEE ER -