TY - CHAP A1 - Rück, Thomas A1 - Läpple, I. A1 - Bierl, Rudolf T1 - Photoakustische Spurengasanalytik von NO2 im ppt-Bereich (10^-12) bei Verwendung kostengünstiger Einzelkomponenten T2 - 7. MikroSystemTechnik Kongress "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", 23.-25. Oktober 2017, München KW - Elektroniksystem KW - Industrie 4.0 KW - Mikrosystemtechnik KW - Mikrofluidik KW - Mikroaktorik Y1 - 2017 SN - 978-3-8007-4491-6 PB - VDE-Verlag CY - Berlin ER -