TY - CHAP A1 - Roth, Carina A1 - Hausler, Peter A1 - Bierl, Rudolf T1 - Einbindung eines 2D-Photodetektors in einen hochintegrierten SPR-Imaging-Sensor T2 - 7. MikroSystemTechnik Kongress "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", 23.-25. Oktober 2017, München N2 - Die Oberflächenplasmonenresonanzspektroskopie (SPR) ist eine hochempfindliche Messmethode, die es erlaubt, Gase und Flüssigkeiten zerstörungs- und markierungsfrei in Echtzeit zu analysieren. Bisher vornehmlich im Labormaßstab in der Bioanalytik und dem Wirkstoffscreening eingesetzt, soll diese Technologie nun miniaturisiert und für weitere Anwendungsgebiete zugänglich gemacht werden. Dazu wird ein kompakter Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems Sensor (MOEMS) entwickelt, der mit Hilfe des SPR Imaging Änderungen der chemischen Zusammensetzung verschiedener Flüssigkeiten inline messen kann. N2 - Surface plasmon resonance spectroscopy (SPR) is a highly sensitive measurement method which allows the analysis of gases and liquids in real-time in a non-destructive and marking-free manner. Presently SPR is predominantly used for pharmaceutical screening and biotechnical analysis. Now this technology is to be miniaturized and made accessible for further application areas. For this purpose, a compact micro-opto-electro-mechanical system sensor (MOEMS) is developed, which can measure changes in the chemical composition of different fluids using SPR imaging. T2 - Integration of a 2D-photodetector in a SPR-Imaging-Sensor KW - Bildsensor KW - Bioanalytik KW - chemische Zusammensetzung KW - Fotodetektor KW - Labormaßstab KW - Messmethode KW - mikrooptoelektromechanisches System KW - Oberflächenplasmon KW - Oberflächenplasmonenresonanzspektroskopie KW - pharmazeutisches Screening KW - Spektroskopie KW - Wirkstoff Y1 - 2017 SN - 978-3-8007-4491-6 SP - 848 EP - 850 PB - VDE-Verlag CY - München ER -