TY - CHAP A1 - Betz, Michael A. A1 - Lechner, Alfred T1 - Sprayganik - Spraytool für organische Halbleiter T2 - 7. MikroSystemTechnik Kongress "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", 23.-25. Oktober 2017, München N2 - Sprühbeschichtung stellt einen kostengünstigen und materialeffizienten aber komplexen Prozess dar. Um diese Vorteile für die Abscheidung teurer organischer Halbleiter zu nutzen, wurde ein Sprühbeschichter entwickelt, der neueste Anforderungen an den Prozess erfüllt. Zudem konnten selbstansaugende Mikrosprühdüsen mikrotechnologisch in Silizium realisiert werden, welche bereits eine bis zu vierfache Materialeffizienz im Vergleich zu herkömmlichen airbrush-Düsen nachweisen konnten. Die neueste Düsengeneration zeigt nun eine weiter verbesserte Zerstäubung, was bei gesprühten OPDs zu einer reduzierten Dunkelstromdichte von 9,1×10-6 mA·cm-2 (-5 V) und erhöhten externen Quanteneffizienz von 78,5% (530 nm, -5 V) führt. N2 - Generally, spray coating is a cheap and material efficient but complex process. To exploit those advantages for deposition of expensive organic semiconductors, we developed a spray coater to fulfil latest requirements. Furthermore, it was possible to realize venturi micro nozzles that already showed up to 4-fold material efficiency when compared to conventional airbrush-nozzles. The latest nozzle layout shows an even better atomization resulting in photodiodes with a reduced dark current density of 9,1×10-6 mA·cm-2 (-5 V) and increased external quantum efficiency of 78,5% (530 nm, -5 V). KW - Dunkelstrom KW - organischer Halbleiter KW - Photodiode KW - Silicium KW - Spritzbeschichten KW - Spritzschicht KW - Sprühdüse KW - Zerstäubung Y1 - 2017 SN - 978-3-8007-4491-6 SP - 747 EP - 750 PB - VDE-Verlag CY - München ER -