TY - JOUR A1 - Zagler, Andreas A1 - Landgraf, Ferdinand A1 - Rück, Thomas A1 - Bierl, Rudolf T1 - Entwicklung eines mikromechanischen kapazitiven Schalldetektors im resonanten Betrieb für die photoakustische Spurengasanalyse JF - 7. MikroSystemTechnik Kongress "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", 23.-25. Oktober 2017, München Y1 - 2017 PB - VDE-Verlag CY - Berlin ER -