TY - CHAP A1 - Bieker, Johannes A1 - Roustaie, Farough A1 - Langer, Christoph A1 - Schreiner, Rupert A1 - Schlaak, Helmut F. T1 - Innovatives Verfahren zur Herstellung und Integration metallischer Nanokonen für die Feldemission T2 - MikroSystemTechnik Kongress 2017 : MEMS, Mikroelektronik, Systeme 23.-25. Oktober 2017 in München N2 - In den letzten Jahren wurde am Institut für Elektromechanische Konstruktionen die Fabrikation und Integration von metallischen Nanodrähten und Nanokonen mittels Template-basierter Abscheidung erforscht. Diese Variante der in-situ Abscheidung von metallischen Nanostrukturen bietet eine Vielzahl von Anwendungsmöglichkeiten. Im Rahmen dieses Beitrags werden das Herstellungsverfahren zur Herstellung metallischer Nanokonen vorgestellt. Dies beinhaltet sowohl die Templatepräparation mittels asymmetrischen Ätzens als auch die anschließende Integration mittels galvanischer Abscheidung. Eine Anwendung der metallischen Nanokonen stellt die Verwendung als Feldemitter in der Vakuumelektronik dar. Es werden erste Messungen der Langzeitstabilität des Feldemissionsstromes der metallischen Konen präsentiert. N2 - Recently the fabrication and integration of metallic nanowires and nanocones based on ion-track etched templates has been in the focus of research at the Institute for Electromechanical Design at the TU Darmstadt. Using the method for the in-situ deposition various applications are feasible. In this paper we present the fabrication method for in-situ deposition of metallic nanocones, including the preparation of the polymer templates based on asymmetric etching and the process description for integration via electrodeposition. Giving one example for an application, the metallic nanocones can be used as field emitters in vacuum electronics. The field emission properties will be presented briefly. T2 - Innovative fabrication method for in-situ deposition of metallic nanocones for field emission KW - Ätzen KW - Feldemission KW - galvanische Abscheidung KW - Herstellverfahren KW - Langzeitstabilität KW - Nanodraht KW - Nanostruktur KW - Polymer KW - Prozessbeschreibung KW - Vakuum Y1 - 2017 SN - 978-3-8007-4491-6 IS - CD-ROM SP - 797 EP - 800 PB - VDE-Verlag CY - München ER -