@inproceedings{HauslerRothAumeretal., author = {Hausler, Peter and Roth, Carina and Aumer, F. and Vitzthumecker, Thomas and Genslein, Christa and Hirsch, Thomas and Bierl, Rudolf}, title = {Miniaturisiertes Sensorsystem zur Oberfl{\"a}chenplasmonenresonanzspektroskopie}, series = {118. Jahrestagung der deutschen Gesellschaft f{\"u}r angewandte Optik (DGaO), 6.-10. Juni 2017, Dresden}, booktitle = {118. Jahrestagung der deutschen Gesellschaft f{\"u}r angewandte Optik (DGaO), 6.-10. Juni 2017, Dresden}, abstract = {Die Oberfl{\"a}chenplasmonenresonanzspektroskopie (SPR) wird aufgrund ihrer Vorz{\"u}ge der zerst{\"o}rungs- und markierungsfreien Messung, sowie der hohen Sensitivit{\"a}t sehr erfolgreich im Labormaßstab eingesetzt. Aufgrund der hohen Kosten geschieht dies bislang haupts{\"a}chlich in der Bioanalytik und dem Wirkstoffscreening. Gezeigt wird ein Ansatz, mit dem diese Technologie auf ein ultrakompaktes, kosteng{\"u}nstiges Sensorsystem {\"u}bertragen wird, welches in der Lage ist, hoch-sensitiv {\"A}nderungen im Brechungsindex von 10-6 Einheiten (RIU) zu detektieren. F{\"u}r Wasser bewirkt eine Temperaturschwankung von 1 K bereits eine {\"A}nderung von 1 mRIU. Daher wird durch ein integriertes Referenzsystem, sowie die Miniaturisierung erreicht, dass das System gegen{\"u}ber Temperaturschwankungen, weitestgehend stabil ist. In dem MOEMS wird anstatt der konventionellen 1-Punkt bzw. 2-Punkt Messung ein bildgebendes Verfahren angewendet. Die Sensorfl{\"a}che von 15 x 15 mm wird dabei mit einem handels{\"u}blichen 4 Mio. Pixel CMOS Sensor ausgewertet. Um verl{\"a}ssliche Datenpunkte zu erhalten ben{\"o}tigt man eine Fl{\"a}che von 10 x 10 Pixel. Demzufolge k{\"o}nnen auf dem Sensor theoretisch bis zu 40.000 Sensorspots parallel ausgewertet werden.}, language = {de} } @inproceedings{HauslerGensleinRothetal., author = {Hausler, Peter and Genslein, Christa and Roth, Carina and Hirsch, Thomas and Bierl, Rudolf}, title = {Mikro-Opto-Elektro-Mechanisches Sensorsystem zur Oberfl{\"a}chenplasmonenresonanzspektroskopie}, series = {MikroSystemTechnik Kongress 2017 : MEMS, Mikroelektronik, Systeme 23.-25. Oktober 2017 in M{\"u}nchen}, booktitle = {MikroSystemTechnik Kongress 2017 : MEMS, Mikroelektronik, Systeme 23.-25. Oktober 2017 in M{\"u}nchen}, number = {CD-ROM}, publisher = {VDE-Verlag}, address = {Berlin}, isbn = {978-3-8007-4491-6}, pages = {645 -- 647}, abstract = {Gezeigt wird die Miniaturisierung eines Messsystems f{\"u}r Oberfl{\"a}chenplasmonenresonanzspektroskopie (SPR), einer markierungs-, sowie zerst{\"o}rungsfreien als auch hoch sensitiven Technologie. Aufgrund der hohen Kosten klassischer SPR-Ger{\"a}te wird sie bisher jedoch vornehmlich in der Bio- und Medizintechnik eingesetzt. Das Messprinzip erm{\"o}glicht die Erfassung von Brechungsindex{\"a}nderungen nahe einer Oberfl{\"a}che. Der Transfer dieser Technologie von Laborger{\"a}ten hin zu einem miniaturisierten Sensorsystem senkt die Kosten, macht das System robuster und erm{\"o}glicht so ein wesentlich breiteres Anwendungsspektrum. Ein sehr vielversprechendes Merkmal des hier vorgestellten Systems ist die M{\"o}glichkeit den SPR-Effekt winkelabh{\"a}ngig zur Lichtquelle ohne bewegliche Bauteile zu verfolgen. The miniaturization of Surface Plasmon Resonance (SPR) technology, which mainly finds its applications in pharmaceutical screening and biotechnology so far, is described. SPR spectroscopy is a label-free, non destructive and highly sensitive measurement principle which is capable of detecting changes in the refractive index in striking distance to a gold surface. A transfer of this technology to a miniaturized sensor will broaden the range of possible applications. A promising feature which is included in the miniaturized system is the angle-dependent recording of the SPR signals without moving parts.}, language = {de} }