@techreport{UngerRueckLandgrafetal., author = {Unger, J. and R{\"u}ck, Thomas and Landgraf, Ferdinand and Bierl, Rudolf}, title = {Herstellung und Analyse der Resonanzfrequenz eines MEMS Cantilever f{\"u}r das CEPAS Verfahren}, abstract = {Diese Abhandlung beschreibt das Konzept eines mikroeletromechanischen Systems (MEMS), das im Messverfahren der cantilever enhanced photoacoustic spectroscopy (CEPAS) Verwendung finden soll. Es wird die Herstellung eines einseitig eingespannten Biegebalkens aus Silizium mittels deep reactiv ion etching (DRIE) beschrieben. Des Weiteren wird die Resonanzfrequenz dieses Cantilevers mit Hilfe Laservibrometertechnik untersucht. Die resultierenden resonanten Schwingungen 0.Ordnung werden mit den Ergebnissen einer vereinfachten theoretischen N{\"a}herung verglichen. Die Messergebnisse stehen in gutem Zusammenhang mit den theoretischen Werten. Solche Cantilever, die aus silicon on insula tor (SOI) Wafer angefertigt wurden, weisen bei einer Zielfrequenz ein mittlere Abweichung von Δf = 118±26Hz (bzw.Δf =0,76±0,17\%) auf.}, language = {de} } @inproceedings{RueckLandgrafLaeppleetal., author = {R{\"u}ck, Thomas and Landgraf, Ferdinand and L{\"a}pple, I. and Unger, J. and Matysik, Frank-Michael and Bierl, Rudolf}, title = {Specification of an improved photoacoustic setup for high-sensitive, low-cost NO2 trace gas detection}, series = {18th International Conference on Photoacoustic and Photothermal Phenomena (ICPPP18), 2015, September 6-10, Novi Sad, Serbia}, booktitle = {18th International Conference on Photoacoustic and Photothermal Phenomena (ICPPP18), 2015, September 6-10, Novi Sad, Serbia}, language = {en} }