@inproceedings{SilberbauerLindnerSchreiner, author = {Silberbauer, Theodor and Lindner, Matthias and Schreiner, Rupert}, title = {Charakterisierung der dielektrischen Barrierenentladung von Mikroplasmaaktuatoren in Abh{\"a}ngigkeit der Substratdicke}, series = {Intelligente Systeme und ihre Komponenten: Forschung und industrielle Anwendung : Fachbeitr{\"a}ge 2. Symposium Elektronik und Systemintegration ESI 2020}, booktitle = {Intelligente Systeme und ihre Komponenten: Forschung und industrielle Anwendung : Fachbeitr{\"a}ge 2. Symposium Elektronik und Systemintegration ESI 2020}, address = {Landshut}, pages = {64 -- 72}, language = {de} }