@inproceedings{HauslerGensleinRothetal., author = {Hausler, Peter and Genslein, Christa and Roth, Carina and Hirsch, Thomas and Bierl, Rudolf}, title = {Mikro-Opto-Elektro-Mechanisches Sensorsystem zur Oberfl{\"a}chenplasmonenresonanzspektroskopie}, series = {MikroSystemTechnik Kongress 2017 : MEMS, Mikroelektronik, Systeme 23.-25. Oktober 2017 in M{\"u}nchen}, booktitle = {MikroSystemTechnik Kongress 2017 : MEMS, Mikroelektronik, Systeme 23.-25. Oktober 2017 in M{\"u}nchen}, number = {CD-ROM}, publisher = {VDE-Verlag}, address = {Berlin}, isbn = {978-3-8007-4491-6}, pages = {645 -- 647}, abstract = {Gezeigt wird die Miniaturisierung eines Messsystems f{\"u}r Oberfl{\"a}chenplasmonenresonanzspektroskopie (SPR), einer markierungs-, sowie zerst{\"o}rungsfreien als auch hoch sensitiven Technologie. Aufgrund der hohen Kosten klassischer SPR-Ger{\"a}te wird sie bisher jedoch vornehmlich in der Bio- und Medizintechnik eingesetzt. Das Messprinzip erm{\"o}glicht die Erfassung von Brechungsindex{\"a}nderungen nahe einer Oberfl{\"a}che. Der Transfer dieser Technologie von Laborger{\"a}ten hin zu einem miniaturisierten Sensorsystem senkt die Kosten, macht das System robuster und erm{\"o}glicht so ein wesentlich breiteres Anwendungsspektrum. Ein sehr vielversprechendes Merkmal des hier vorgestellten Systems ist die M{\"o}glichkeit den SPR-Effekt winkelabh{\"a}ngig zur Lichtquelle ohne bewegliche Bauteile zu verfolgen. The miniaturization of Surface Plasmon Resonance (SPR) technology, which mainly finds its applications in pharmaceutical screening and biotechnology so far, is described. SPR spectroscopy is a label-free, non destructive and highly sensitive measurement principle which is capable of detecting changes in the refractive index in striking distance to a gold surface. A transfer of this technology to a miniaturized sensor will broaden the range of possible applications. A promising feature which is included in the miniaturized system is the angle-dependent recording of the SPR signals without moving parts.}, language = {de} }