@inproceedings{EilerBerndtSchreiner, author = {Eiler, Julian and Berndt, Dominik and Schreiner, Rupert}, title = {Miniaturisierter Wasserstoffsensor basierend auf der 3-Omega Methode}, series = {Tagungsband zum 4. Symposium Elektronik und Systemintegration ESI: 17. April 2024, Hochschule Landshut}, booktitle = {Tagungsband zum 4. Symposium Elektronik und Systemintegration ESI: 17. April 2024, Hochschule Landshut}, publisher = {Hochschule f{\"u}r Angewandte Wissenschaften Landshut}, address = {Landshut}, isbn = {978-3-9818439-9-6}, doi = {10.57688/420}, url = {http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bvb:860-opus4-4205}, pages = {38 -- 45}, abstract = {Die Arbeit stellt einen thermischen Wasserstoffsensor auf Siliziumbasis vor, der mit der 3-Omega Messmethode betrieben wird. Durch das dynamische Messverfahren, die große Sensoroberfl{\"a}che bei gleichzeitig geringer thermischer Masse und der Materialkombination wird eine Aufl{\"o}sungsgrenze von 55 ppm Wasserstoff in Stickstoff erreicht.}, language = {de} }