@article{ZaglerLandgrafRuecketal., author = {Zagler, Andreas and Landgraf, Ferdinand and R{\"u}ck, Thomas and Bierl, Rudolf}, title = {Entwicklung eines mikromechanischen kapazitiven Schalldetektors im resonanten Betrieb f{\"u}r die photoakustische Spurengasanalyse}, series = {7. MikroSystemTechnik Kongress "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", 23.-25. Oktober 2017, M{\"u}nchen}, journal = {7. MikroSystemTechnik Kongress "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", 23.-25. Oktober 2017, M{\"u}nchen}, publisher = {VDE-Verlag}, address = {Berlin}, language = {de} }