@inproceedings{RothHauslerBierl, author = {Roth, Carina and Hausler, Peter and Bierl, Rudolf}, title = {Einbindung eines 2D-Photodetektors in einen hochintegrierten SPR-Imaging-Sensor}, series = {7. MikroSystemTechnik Kongress "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", 23.-25. Oktober 2017, M{\"u}nchen}, booktitle = {7. MikroSystemTechnik Kongress "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", 23.-25. Oktober 2017, M{\"u}nchen}, publisher = {VDE-Verlag}, address = {M{\"u}nchen}, isbn = {978-3-8007-4491-6}, pages = {848 -- 850}, abstract = {Die Oberfl{\"a}chenplasmonenresonanzspektroskopie (SPR) ist eine hochempfindliche Messmethode, die es erlaubt, Gase und Fl{\"u}ssigkeiten zerst{\"o}rungs- und markierungsfrei in Echtzeit zu analysieren. Bisher vornehmlich im Labormaßstab in der Bioanalytik und dem Wirkstoffscreening eingesetzt, soll diese Technologie nun miniaturisiert und f{\"u}r weitere Anwendungsgebiete zug{\"a}nglich gemacht werden. Dazu wird ein kompakter Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems Sensor (MOEMS) entwickelt, der mit Hilfe des SPR Imaging {\"A}nderungen der chemischen Zusammensetzung verschiedener Fl{\"u}ssigkeiten inline messen kann.}, language = {de} }