@incollection{BetzLechner, author = {Betz, Michael A. and Lechner, Alfred}, title = {Sprayganik - Spraytool f{\"u}r organische Halbleiter}, series = {7. MikroSystemTechnik Kongress "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", 23.-25. Oktober 2017, M{\"u}nchen}, booktitle = {7. MikroSystemTechnik Kongress "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", 23.-25. Oktober 2017, M{\"u}nchen}, publisher = {VDE-Verlag}, address = {M{\"u}nchen}, isbn = {978-3-8007-4491-6}, pages = {747 -- 750}, abstract = {Spr{\"u}hbeschichtung stellt einen kosteng{\"u}nstigen und materialeffizienten aber komplexen Prozess dar. Um diese Vorteile f{\"u}r die Abscheidung teurer organischer Halbleiter zu nutzen, wurde ein Spr{\"u}hbeschichter entwickelt, der neueste Anforderungen an den Prozess erf{\"u}llt. Zudem konnten selbstansaugende Mikrospr{\"u}hd{\"u}sen mikrotechnologisch in Silizium realisiert werden, welche bereits eine bis zu vierfache Materialeffizienz im Vergleich zu herk{\"o}mmlichen airbrush-D{\"u}sen nachweisen konnten. Die neueste D{\"u}sengeneration zeigt nun eine weiter verbesserte Zerst{\"a}ubung, was bei gespr{\"u}hten OPDs zu einer reduzierten Dunkelstromdichte von 9,1×10-6 mA·cm-2 (-5 V) und erh{\"o}hten externen Quanteneffizienz von 78,5\% (530 nm, -5 V) f{\"u}hrt.}, language = {de} }