TY  - JOUR
A1  - Zagler, Andreas
A1  - Landgraf, Ferdinand
A1  - Rück, Thomas
A1  - Bierl, Rudolf
T1  - Entwicklung eines mikromechanischen kapazitiven Schalldetektors im resonanten Betrieb für die photoakustische Spurengasanalyse
T2  - 7. MikroSystemTechnik Kongress "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", 23.-25. Oktober 2017, München
Y1  - 2017
UR  - https://opus4.kobv.de/opus4-oth-regensburg/frontdoor/index/index/docId/1438
PB  - VDE-Verlag
CY  - Berlin
ER  -