@article{ZaglerLandgrafRuecketal.2017,
  author    = {Andreas Zagler and Ferdinand Landgraf and Thomas R{\"u}ck and Rudolf Bierl},
  title     = {Entwicklung eines mikromechanischen kapazitiven Schalldetektors im resonanten Betrieb f{\"u}r die photoakustische Spurengasanalyse},
  journal   = {7. MikroSystemTechnik Kongress "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", 23.-25. Oktober 2017, M{\"u}nchen},
  year      = {2017},
}