Aufgaben und Lösungen zu der Vorlesung Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik
- Inhalt: Das Plasma; Ladungsträger; Materie im statischen DC-Feld; Materie im elektromagnetischen Wechselfeld; Sputtern; Plasmadiagnostik
Author: | Gerhard Franz |
---|---|
URN: | urn:nbn:de:bvb:m347-dtl-0000000098 |
ISBN: | 978-3-943872-05-7 |
Publisher: | Hochschule München |
Place of publication: | München |
Document Type: | Book |
Language: | German |
Date of Publication (online): | 2022/02/01 |
Date of first Publication: | 2012/07/04 |
Publishing Institution: | Hochschule für angewandte Wissenschaften München |
Release Date: | 2022/02/07 |
GND Keyword: | NiederdruckplasmaGND; PlasmaphysikGND |
Page Number: | II, 33 |
Departments and Institutes: | Fakultäten der Hochschule München / FK 06 Fakultät für angewandte Naturwissenschaften und Mechatronik |
Dewey Decimal Classification: | 5 Naturwissenschaften und Mathematik / 53 Physik |
Illustrations: | Illustration/en |
Illustrations: | grafische Darstellung/en |
Licence (German): |