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Plasmaphysik III : von den kapazitiv gekoppelten Plasmen bis zur Plasmadiagnostik

  • Inhalt: Kapazitiv gekoppelte Plasmen; Streuprozesse; Hoch-Dichte-Plasmen; CCP-Entladungen vs. ICP-Entladungen; Magnetfeldunterstützte Einkopplung; Ionenstrahlsysteme; Trockenätzverfahren I-V; Plasma-Analytik

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Metadaten
Author:Gerhard Franz
URN:urn:nbn:de:bvb:m347-dtl-0000000038
ISBN:978-3-943872-03-3
Publisher:Hochschule München
Place of publication:München
Document Type:Book
Language:German
Date of Publication (online):2022/01/31
Date of first Publication:2012/06/30
Publishing Institution:Hochschule für angewandte Wissenschaften München
Release Date:2022/02/07
GND Keyword:PlasmaphysikGND
Page Number:I, 117
Departments and Institutes:Fakultäten der Hochschule München / FK 06 Fakultät für angewandte Naturwissenschaften und Mechatronik
Dewey Decimal Classification:5 Naturwissenschaften und Mathematik / 53 Physik
Illustrations:Illustration/en
Illustrations:grafische Darstellung/en
Licence (German):Keine CC-Lizenz, es gilt der Veröffentlichungsvertrag und das Deutsche Urheberrecht
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