TY - BOOK A1 - Franz, Gerhard T1 - Aufgaben und Lösungen zu der Vorlesung Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik N2 - Inhalt: Das Plasma; Ladungsträger; Materie im statischen DC-Feld; Materie im elektromagnetischen Wechselfeld; Sputtern; Plasmadiagnostik KW - Niederdruckplasma KW - Plasmaphysik Y1 - 2022 UR - https://opus4.kobv.de/opus4-hm/frontdoor/index/index/docId/326 UR - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:m347-dtl-0000000098 SN - 978-3-943872-05-7 PB - Hochschule München CY - München ER -