Nano-3D-Druck zur Sensorentwicklung
- Die Miniaturisierung von Mikrosensoren stellt immer größere Anforderungen an die Fertigungsprozesse. Parallel dazu wächst der Bedarf an hochgenauen Bauteilen, die individuell auf einzelne Systeme abgestimmt sind. Gerade die Herstellung dreidimensionaler Mikrosysteme & MEMS ist aufwendig und kompliziert. Der nano-3D-Druck (2-Photonenpolymerisationsprozess) ist eine junge Technologie mit großem Potential in diesem Bereich. Mit ihm lassen sich dreidimensionale Strukturen deutlich kleiner als 1 μm und Oberflächenrauigkeiten unter 100 nm realisieren. Im Folgenden werden die Technologie und der Prozess des nano-3D-Drucks erläutert. Anschließend werden Anwendungsbeispiele aus dem Bereich der Optik, der Biotechnologie und der Sensorik vorgestellt.
Verfasserangaben: | Matthias E. Rebhan |
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URN: | urn:nbn:de:bvb:860-opus4-3641 |
DOI: | https://doi.org/10.57688/364 |
ISBN: | 978-3-9818439-6-5 |
Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch): | Tagungsband 3. Symposium Elektronik und Systemintegration ESI |
Herausgeber*in: | Ivanov Artem, Bicker Marc, Patzelt Peter |
Dokumentart: | Konferenzveröffentlichung |
Sprache: | Deutsch |
Jahr der Fertigstellung: | 2022 |
Veröffentlichende Institution: | Hochschule für Angewandte Wissenschaften Landshut |
Datum der Freischaltung: | 23.06.2023 |
Erste Seite: | 81 |
Letzte Seite: | 86 |
Fakultät / Institut: | Cluster Mikrosystemtechnik |
Sammlungen: | Symposium Elektronik und Systemintegration / Tagungsband 3. Symposium Elektronik und Systemintegration ESI 2022: Fachbeiträge; ISBN 978-3-9818439-4-1 |
Lizenz (Deutsch): | Keine Creative Commons Lizenz (es gilt das deutsche Urheberrecht) |