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Nano-3D-Druck zur Sensorentwicklung

  • Die Miniaturisierung von Mikrosensoren stellt immer größere Anforderungen an die Fertigungsprozesse. Parallel dazu wächst der Bedarf an hochgenauen Bauteilen, die individuell auf einzelne Systeme abgestimmt sind. Gerade die Herstellung dreidimensionaler Mikrosysteme & MEMS ist aufwendig und kompliziert. Der nano-3D-Druck (2-Photonenpolymerisationsprozess) ist eine junge Technologie mit großem Potential in diesem Bereich. Mit ihm lassen sich dreidimensionale Strukturen deutlich kleiner als 1 μm und Oberflächenrauigkeiten unter 100 nm realisieren. Im Folgenden werden die Technologie und der Prozess des nano-3D-Drucks erläutert. Anschließend werden Anwendungsbeispiele aus dem Bereich der Optik, der Biotechnologie und der Sensorik vorgestellt.

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Metadaten
Verfasserangaben:Matthias E. Rebhan
URN:urn:nbn:de:bvb:860-opus4-3641
DOI:https://doi.org/10.57688/364
ISBN:978-3-9818439-6-5
Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch):Tagungsband 3. Symposium Elektronik und Systemintegration ESI
Herausgeber*in:Ivanov Artem, Bicker Marc, Patzelt Peter
Dokumentart:Konferenzveröffentlichung
Sprache:Deutsch
Jahr der Fertigstellung:2022
Veröffentlichende Institution:Hochschule für Angewandte Wissenschaften Landshut
Datum der Freischaltung:23.06.2023
Erste Seite:81
Letzte Seite:86
Fakultät / Institut:Cluster Mikrosystemtechnik
Sammlungen:Symposium Elektronik und Systemintegration / Tagungsband 3. Symposium Elektronik und Systemintegration ESI 2022: Fachbeiträge; ISBN 978-3-9818439-4-1
Lizenz (Deutsch):Keine Creative Commons Lizenz (es gilt das deutsche Urheberrecht)